Dans les processus de base tels que la gravure, l'implantation ionique et le dépôt pour la fabrication de plaquettes, l'argon de haute pureté sert de gaz de processus clé, dont la pureté détermine directement le bon rendement du circuit intégré. Toute trace d'impuretés telles que l'oxygène, l'azote, l'humidité ou les hydrocarbures peut provoquer des défauts de plaquette, une contamination du film mince ou un court - circuit du circuit électrique, entraînant des pertes importantes. Un contrôle rigoureux de sa qualité est donc essentiel, et le chromatographe en phase gazeuse à argon de haute pureté (GC) est l'outil d'analyse central pour mener à bien cette tâche cruciale.

Le rôle clé des chromatographes à argon de haute pureté se reflète principalement dans leurs capacités d'analyse des traces. Il est capable de détecter avec précision et rapidité la teneur en impuretés de l'argon à des niveaux aussi bas que ppb (Parties par milliard) ou même ppt (Parties par billion). Le principe de fonctionnement est une séparation efficace du mélange gazeux à l'aide d'une colonne chromatographique, suivie d'une analyse quantitative des impuretés isolées au moyen d'un détecteur très sensible tel que le détecteur à ionisation à l'hélium pdhid. La précision et la fiabilité offertes par cette technologie.

Dans le processus de contrôle de la qualité, le chromatographe joue le rôle d '« arbitre final». Il n'est pas seulement le niveau d'inspection d'usine, assurez - vous que chaque lot d'argon du fournisseur répond aux spécifications strictes; Plus sentinelle dans le point de gaz de la ligne de production, surveille en temps réel si le système de distribution de gaz introduit une pollution secondaire, garantit que l'environnement gazeux à l'intérieur de la cavité de processus est toujours dans l'état.

Sans les données précises fournies par le chromatographe à argon de haute pureté, le contrôle de la qualité de l'usine ressemblera à une « vision aveugle». Il fournit une base scientifique pour l'accès et l'utilisation de l'argon de haute pureté en fournissant des données objectives et quantifiées, élimine les risques de qualité dus à la pollution gazeuse à la source, est la pierre angulaire de la technologie pour protéger le taux de fabrication des puces et garantir la sécurité de la production.