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Aiyixin Industrial Technology (Shanghai) Co., Ltd
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Aiyixin Industrial Technology (Shanghai) Co., Ltd

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Pour la plupart de la colle photolithographique et du substrat si, son adhérence est généralement bonne, mais en lithographie, certains substrats tels que le saphir, le Nitrure de gallium, l'arséniure de gallium ou même un film mince de métal précieux sont généralement utilisés, l'adhérence de ces substrats à la colle photolithographique n'est souvent pas idéale, ce qui entraîne des problèmes de "fissures" ou même de colle flottante lors du développement ultérieur de la lithographie. Par conséquent, il doit être amélioré par des moyens technologiques, cette étape est appelée traitement addictif ou aide au collage.

La silice présente sous forme d'oxyde (oxydation naturelle) à la surface du quartz, du verre ou du silicium, ainsi que la plupart des métaux, forment des liaisons Oh polaires à leur surface après une exposition à l'atmosphère à une certaine humidité inférieure pendant une période suffisamment longue. Un tel substrat est hydrophile et présente donc une mauvaise affinité pour les molécules de résine apolaires ou faiblement polaires de la colle lithographique. Pour rendre une telle surface de substrat hydrophobe, des molécules apolaires telles que hmds peuvent être fixées chimiquement à sa surface.

Le hmds se lie aux atomes de si sur une surface exempte d'oxygène, se lie aux atomes d'oxygène à la surface du Groupe oxydant (décomposition du Groupe Oh si nécessaire) et libère de l'ammoniac. Les méthyles non polaires isolent directement la surface du substrat pour former une surface hydrophobe avec une bonne mouillabilité et adhérence à la colle photolithographique.

Principe de fonctionnement:

À température ambiante, la vapeur de hmds est transportée par de l'azote sec dans un "mousseur" puis transférée dans une matrice chauffée (75 - 120°c) où le hmds est lié chimiquement en tant que film monocouche à la surface du substrat.

Si l'hmds du liquide est directement vissé sur le substrat, la couche d'hmds ne peut jouer qu'un rôle de couche d'adhérence physique et n'améliore pas l'adhérence; Deuxièmement, la couche de hmds libère de l'ammoniac lors de la cuisson avant, à partir de la couche de photolithographie réticulée entrante près du substrat, inhibant ainsi le processus de développement.

Caractéristiques du produit:

Structure extérieure:

★ le boîtier adopte la tôle d'acier laminée à froid A3 recadrée, poncée, décapée, phosphatée et d'autres finitions antirouille post - cuisson peinture, le studio adopte la tôle d'acier inoxydable propre sus316 3; entièrement soudée, traitement d'étanchéité résistant à haute température, structure renforcée pour assurer la transformation invisible à haute pression de la boîte.

★ studio haute étanchéité à l'air, la fuite de gaz peut atteindre 100pa / H.

★ double vitrage d'observation en verre trempé antidéflagrant, porte intérieure en verre antidéflagrant de 10 mm.

★ isolation thermique avec 100mm d'épaisseur 100k haute densité silicate d'aluminium matériau d'isolation thermique, l'effet d'isolation thermique est bon.

★ l'étanchéité du cadre de porte utilise une bande d'étanchéité en caoutchouc de silicone sans fluor, résistant à haute température et anti - vieillissement.

Système de contrôle de la température:

★ chauffage hétérosexuel en acier inoxydable, entourant la paroi extérieure du studio, chauffé sur les quatre côtés.

★ 7 pouces interface homme - machine, contrôle PLC + PID + SSR, SSR pas de contact et d'autres périodes de réglage de l'amplitude d'impulsion, PID calcul intelligent, température constante automatique, suppression de la surchauffe, alarme de rupture de fil de capteur, mémoire de panne de courant, contrôle précis de la température, manipulation facile.

★ plusieurs modes de fonctionnement peuvent être définis en fonction du processus

★Capteur de température à résistance Platinum blindé en acier inoxydable pt100 de haute précision

Système de sécurité:

★ serrure à clé

★ hmds alarme de niveau de liquide

★ protection contre la surchauffe

★ protection contre les surcharges de courant

★ protection de l'ordre de phase

★ protection contre les fuites

★ protection de la terre