Dans le processus de fabrication des feuilles de cellules photovoltaïques,Glissière PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) l'équipement assume la tâche principale de la préparation de films antireflet et de couches passivantes, dont les performances déterminent directement l'efficacité de conversion de la Feuille de batterie et la capacité de la ligne de production. Avec l'expansion à l'échelle de l'industrie photovoltaïque et l'accélération de l'itération technologique, les entreprises achètent des PECVD à glissière, doivent utiliser la demande de capacité comme point d'ancrage, contrôler avec précision le taux de dépôt d'une seule cavité, la taille compatible du substrat, la consommation d'énergie et d'autres indicateurs clés, réaliser la performance de l'équipement et la demande de production pour une base d'équipement de donjon à efficacité réduite.

Le taux de dépôt d'une seule cavité est l'indicateur central qui détermine la limite supérieure de capacité et doit être entièrement adapté au rythme de la ligne de production. La vitesse de dépôt est directement liée à la quantité de traitement de substrat par unité de temps, par exemple dans la production de cellules PERC, si la vitesse de dépôt à une seule cavité atteint 120 pièces / heure, l'équipement de conception à 8 chambres peut atteindre une capacité de traitement de près de mille pièces / heure, Répondant aux besoins de capacité de classe GW. Lors de l'achat, il convient de noter que le taux de dépôt n'est pas plus élevé, mieux c'est, il est nécessaire de trouver un équilibre avec la qualité de la couche de membrane - une partie de l'équipement accélère le taux de force en augmentant la puissance, ce qui peut entraîner des écarts d'uniformité de la couche de membrane, mais affecte plutôt l'efficacité de conversion de la batterie. Il est recommandé de donner la préférence aux équipements avec une large plage de vitesse de dépôt réglable (50 - 150 pièces / heure), qui peuvent à la fois s'adapter aux besoins de capacité de pointe et s'adapter de manière flexible pour préserver la qualité de la couche de film produite expérimentalement.

La taille compatible du substrat détermine l'avenir technologique de l'équipement et l'adaptation de la ligne de production, il est nécessaire de se baser sur le présent et de prendre en compte l'avenir. La taille actuelle du substrat photovoltaïque principal a été mise à niveau de 166mm à 182mm, 210mm grande taille, le substrat de grande taille peut réduire le coût unitaire de puissance, mais la structure de la Chambre de l'équipement et la précision du rail de glissement font des exigences plus élevées. Lors de l'achat, vous devez confirmer que l'appareil peut être compatible avec les tailles courantes et les futures mises à niveau de 1 à 2 générations, afin d'éviter l'élimination précoce de l'appareil en raison de l'itération du substrat. Dans le même temps, concentrez - vous sur la précision de positionnement de la transmission du substrat (± 0,5 mm), le positionnement précis peut réduire le taux de fragmentation pendant la transmission, en particulier dans la production de substrats de grande taille (210 mm), peut contrôler le taux de fragmentation en dessous de 0,1%, réduire la perte de matériau.

La consommation d'énergie et les coûts d'exploitation et d'entretien sont des facteurs clés qui influent sur la productivité et nécessitent la prise en compte des coûts du cycle de vie complet. La consommation d'énergie du PECVD à glissière se concentre principalement sur l'alimentation RF, le système de chauffage et la pompe à vide, l'équipement de haute qualité peut réduire la consommation d'énergie unitaire à moins de 0,8 kWh / pièce en optimisant la structure d'isolation de la cavité et l'efficacité de l'alimentation, ce qui permet d'économiser 15 à 20% du coût de l'électricité par rapport aux équipements traditionnels. En ce qui concerne l'exploitation et la maintenance, il est nécessaire de prêter attention au cycle de remplacement et au coût des pièces d'usure - par exemple, la durée de vie de la pièce d'électrode ne doit pas être inférieure à 10 000 heures, le cycle de remplacement de l'huile de pompe à vide s'étend à Plus de 6 mois, tandis que l'équipement doit avoir une fonction d'alerte aux pannes, en surveillant en temps réel la pression de la cavité, la puissance RF et d'autres paramètres, en prédisant les pannes à l'avance et en poussant des conseils de maintenance, réduisant

En outre, la capacité d'intégration automatisée et la capacité de contrôle de la qualité de la couche de membrane ne peuvent pas être négligées. L'équipement doit prendre en charge l'interface transparente avec les équipements d'automatisation avant et arrière (tels que les machines d'alimentation automatiques, les équipements d'inspection), afin de réaliser l'automatisation complète du processus, de l'entrée du substrat à la détection de la couche de membrane, réduisant les pertes d'efficacité et les erreurs causées par l'intervention humaine. En ce qui concerne le contrôle de la qualité de la couche de membrane, il convient de choisir un équipement équipé d'un système de surveillance en ligne de l'épaisseur de la membrane, qui peut rétroagir en temps réel sur l'épaisseur de la couche de membrane (précision ± 2 nm) avec l'indice de réfraction, afin d'assurer la cohérence des performances de la couche de membrane dans la production en série, offrant une garantie

La logique de base de l'entreprise photovoltaïque pour l'achat de PECVD à glissière est d'atteindre le triple objectif de « capacité adaptée, coût contrôlable, prospective technologique». De la vitesse de dépôt d'une seule cavité au rythme de production, en passant par la compatibilité des dimensions des substrats et le contrôle précis de la consommation d'énergie et des coûts d'exploitation et de maintenance, la maîtrise de chaque indicateur a un impact direct sur la productivité. Grâce à l'évaluation scientifique des indicateurs clés et à la sélection d'équipements adaptés à leurs besoins de capacité et à leurs itinéraires technologiques, le PECVD sur rail coulissant peut être un puissant soutien pour les entreprises photovoltaïques afin d'améliorer leurs compétences de base.