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Courriel
huijuan_sun@bct-tech.com
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Téléphone
18610719775
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Adresse
Bâtiment n ° 1, Cour n ° 6, rue principale d'Anqing, zone B, industrie de l'aéroport, district de Shunyi, Pékin
Solution
Beijing Boside Technology Co., Ltd
Aperçu du programme
Sous l'impulsion de l'intelligence artificielle et de la demande de calcul à haute efficacité énergétique, la largeur de ligne de la puce est rapidement passée de 70 nm à l'ère inférieure à 7 nm sous le développement de matériaux semi - conducteurs de quatrième génération et de la technologie des particules de cœur. L'importance de la détection de traces de contaminants moléculaires gazeux (AMC) dans les processus de production en dessous de 30 nm a atteint des sommets très importants.
La précision des traces de surveillance AMC, la surveillance complète, l'analyse automatique des données volumineuses et l'introduction de l'idée de contrôle intelligent de l'IA jouent un rôle crucial dans la réduction des chocs de performance causés par AMC.
Beijing boside Technology Co., Ltd. A développé et produit indépendamment la série BCT - AMC, système de surveillance de l'environnement du processus de fabrication de semi - conducteurs, couvrant de nombreux scénarios tels que la surveillance en ligne, l'analyse en laboratoire, l'analyse de traçabilité sur site en rack, l'analyse quantitative complète précise de plus d'espèces organiques, l'automatisation et l'intégration élevées du processus d'analyse, en collaboration avec la base de données dédiée à la pollution AMC et la Bibliothèque de solutions d'élimination, avec l'aide de la technologie ai, pour vraiment résoudre les problèmes pratiques du Département de gestion des produits et du Département de contrôle de la micropollution.
Scène typique
1, point de processus - système d'analyse de précision AMC (VOC) automatisé en ligne
Surveillance de la production surveillance en ligne:
• Utilisation de tubes d'échantillonnage PFA ultra - nets pour le point d'installation, la plage de surveillance peut atteindre 35 000 m2 ~ 75 000 m2
• Échantillonnage automatique, concentration, analyse GC - MS, stockage dans le cloud, génération automatique de rapports de détection par l'IA avec fonction d'alarme ultra - seuil
• 7 × 24 heures de suivi automatique des horaires
• revêtement inerte de toutes les pièces pour éviter les résidus et l'adsorption
• Système de capture dédié et système de mise au point, ligne de détection considérablement améliorée, forme de crête plus nette
2, point suspect - Laboratoire AMC (VOC) Système d'analyse de précision
Analyse de laboratoire de prélèvement manuel de points suspects:
• Le système est utilisé dans le laboratoire, basé sur une forte capacité de piégeage, une forte capacité d'élimination des impuretés, une forte capacité de résistance à l'adsorption, une précision élevée de l'échantillon, chaque voie de gaz spécifique, aucun point froid pour l'ensemble du processus, un nettoyage très propre et d'autres caractéristiques, travaillent ensemble pour obtenir une limite de détection inférieure
• Analyse quantitative de composants inconnus: le système peut effectuer une analyse complète de la substance de l'échantillon
• package de méthodes de détection de substances AMC (VOC) spécialement développé pour les entreprises de semi - conducteurs
• Détection très rapide: quantification qualitative et rapide des substances polluantes, découverte en temps opportun de la source de pollution par les AMC (COV)
Four de chauffage à quartz de Wafer, échantillon volatil chauffé:
• package de méthodes de détection de substances AMC (VOC) spécialement développé pour les entreprises de semi - conducteurs
• Détection très rapide: quantification qualitative et rapide des substances polluantes, découverte en temps opportun de la source de pollution par les AMC (COV)
3, banc - portable AMC (VOC) Système d'analyse de précision
Workbench - analyse de la traçabilité de la pollution:
• Analyse rapide
Mode de navigation de spectrométrie de masse unique, l'instrument ne passe pas par la colonne de chromatographie directement dans la spectrométrie de masse, l'analyse au niveau de la seconde, la production de données en temps réel.
• haute sensibilité
Traçabilité ciblée, plus grande sensibilité: mode de spectrométrie de masse unique, réponse au niveau de la seconde, Affichage dynamique de la contamination en temps réel et, si nécessaire, utilisation du mode Sim pour la navigation ciblée des ions criblés.
La technologie d'échantillonnage par membrane permet un enrichissement secondaire de l'échantillon avant d'entrer dans la spectrométrie de masse, améliorant la sensibilité
• Précision de la traçabilité
Nouveau mode de navigation, en profondeur dans l'atelier, directement à la source
Relativement à la qualité de l'équipement de navigation traditionnelle est plus léger et plus résistant aux tremblements de terre, sur la base de la navigation traditionnelle peut aller plus loin dans l'atelier, la traçabilité précise de la pollution produit des points de processus, aider les entreprises à atteindre la gouvernance des points de pollution.
• résultats précis
Double mode de fonctionnement: mode marche + mode d'analyse de point GC - MS
Quantification qualitative à l'aide d'une source d'ei de 70 EV + spectrométrie de masse à tige IV, ionisation adéquate des COV dans l'air, en s'appuyant sur la bibliothèque spectrale standard du NIST, caractérisation précise; La norme nationale est maintenue et les résultats sont comparables à ceux du laboratoire.
• forte applicabilité environnementale
Système de vide de pompe non mécanique pour une plus grande applicabilité environnementale
Abandonnez les Composants rotatifs à grande vitesse et adoptez une pompe à vide non mécanique pour résoudre les problèmes tels que la détection de l'incapacité de fonctionnement dans les vibrations multidimensionnelles massives.
Résultats des données et spectrogrammes de détection
Zone de fabrication de semi - conducteurs et l'environnement de l'équipement AMC solution de surveillance est présenté, pour plus d'informations, s'il vous plaît contactez - nous!