Dans le processus de lithographie UV profonde des semi - conducteurs, nh₃, HCl, HF et d'autres contaminants moléculaires AMC de l'ordre de la marque sont des « tueurs invisibles» de la qualité du produit, leur réaction avec le gel de lithographie amplifié chimique affectera directement les performances du dispositif semi - conducteur, tandis que les méthodes de Surveillance traditionnelles sont complexes à utiliser, lentes et insuffisamment précises, ce qui rend difficile la surveillance précise en temps réel de l'industrie. Dans ce contexte, duktec a lancé le système de surveillance des contaminants moléculaires de l'air Orion 3100s AMC pour révolutionner les points sensibles de l'industrie et fournir des solutions pour la surveillance des salles blanches à semi - conducteurs.

En tant qu'équipement de surveillance spécialement conçu pour l'industrie des semi - conducteurs, les principaux avantages du système de surveillance des contaminants moléculaires de l'air Orion 3100s AMC proviennent de la technologie CEAS (Cavity Enhanced Absorption Spectroscopy). Par rapport aux filtres à poussière à impact traditionnels, aux mesures indirectes telles que la chromatographie ionique et à la technologie CRDS, le système élimine le besoin d'aligner strictement le faisceau laser, est facile à installer et mécaniquement stable pour capturer rapidement et avec précision les contaminants de niveau trace. Sa précision de détection atteint le niveau de l'industrie, la limite de détection HCl, HF est aussi faible que 0,1 ppb, la limite de détection nh₃ est plus faible que 0,1 ppb, ce qui permet une mesure en temps réel de niveau sub - ppb, tout en contournant efficacement les interférences croisées des composants tels que la vapeur d'eau, le co₂, l'o₂ et d'autres dans l'atmosphère, assurant la précision et la fiabilité des données.

Le système s'adapte pleinement au scénario de production de semi - conducteurs dans la conception fonctionnelle, avec des compétences de base multidimensionnelles. La vitesse de réponse est extrêmement rapide, avec une détection complète en seulement 5 secondes par canal, combinée à une configuration flexible de 1 à 64 canaux qui couvrent une large zone de mesure pour répondre aux besoins de réponse hautement sensible à plusieurs gaz. Ordinateur système Linux intégré qui prend en charge le stockage de données volumineux avec sortie multi - Interface, via Ethernet, RS485 / RS232 ou module analogique 4 - 20MA, peut intégrer 4 - 6 données d'analyseur. Le logiciel HMI Duke exclusif intègre des fonctions telles que le contrôle d'échantillonnage multipoint, l'affichage de courbes de données en temps réel, les alarmes, l'analyse des tendances historiques et d'autres fonctions, prend en charge le contrôle réseau à distance, les utilisateurs peuvent effectuer des opérations à plusieurs niveaux d'autorisation à l'aide d'un navigateur dans n'importe quel emplacement en réseau, et peut également connecter le siège social de Duke TEC ou un fournisseur de services pour un diagnostic à distance.

En outre, le système de surveillance des polluants moléculaires de l'air Orion 3100s AMC est pratique et économique. En utilisant l'armoire amovible en acier inoxydable 310, Plug and play, vous pouvez terminer le déploiement de la salle blanche en quelques minutes; Il n'y a pas de réactifs, de sources radioactives et d'autres consommables, l'électronique à l'état solide n'a pas de pièces mobiles, les coûts de maintenance sont extrêmement faibles et la période sans maintenance est longue. Le système dispose également d'alarmes programmables indépendantes, de réglages de relais, de données de coupure d'alimentation sans perte, d'échantillonnage de ligne ultra - longue de 80 mètres et d'autres avantages, d'un Protocole de communication ouvert facilitant le développement secondaire et l'intégration, adapté aux exigences de production exigeantes de l'industrie des semi - conducteurs.

Le lancement de ce système permettra non seulement d'améliorer efficacement la cohérence de l'impédance des dispositifs semi - conducteurs, de prolonger la durée de vie des filtres, de réduire les temps d'arrêt de la production et de promouvoir la mise à niveau du niveau de production propre de l'industrie grâce à la technologie. Avec des années d'expérience dans l'industrie des semi - conducteurs, duktec offre aux entreprises de semi - conducteurs une surveillance AMC fiable grâce à la technologie et aux services de proximité.