1. Fuite de vide
Phénomène: le degré de vide ne peut pas atteindre la valeur de consigne ou diminue constamment.
Les raisons:
Les anneaux d'étanchéité sont vieillissants, fissurés ou mal installés.
Les connexions de ligne sont desserrées ou il existe de minuscules fissures.
Les parois de la chambre à vide présentent des trous d'épingle ou des défauts de soudure.
Résolu:
Vérifiez régulièrement les joints et remplacez - les tous les 6 à 12 mois.
Utilisez un détecteur de fuite par spectrométrie de masse à hélium pour localiser le point de fuite, après réparation, vous devez redécouvrir la fuite.
Test de pression de la chambre à vide.
2. La couche de membrane tombe
Phénomène: la couche de Film se détache du substrat après le revêtement ou s'écaille en morceaux.
Les raisons:
Contamination de la surface du substrat (huile, vapeur d'eau, poussière).
Pas suffisamment cuit avant le revêtement.
La couche de membrane est trop stressée.
Résolu:
Renforcer le nettoyage du substrat.
Installation de la source d'ions pour le nettoyage par bombardment avant placage.
Optimisation des paramètres du processus.
3. La pompe à vide ne peut pas démarrer
Phénomène: le corps de la pompe ne réagit pas après avoir appuyé sur le bouton de démarrage.
Les raisons:
Panne de courant (tension instable, court - circuit de la ligne).
Déclencheur de protection contre les dommages au moteur ou la surchauffe.
Contamination d'huile ou niveau d'huile insuffisant à l'intérieur de la pompe.
Résolu:
Vérifiez la ligne d'alimentation et la stabilité de la tension.
Redémarrez en remplaçant le moteur ou en attendant que le corps de pompe refroidisse.
Changez régulièrement l'huile sous vide pour maintenir le niveau d'huile au - dessus de la ligne d'échelle.
4. Chute soudaine du vide
Phénomène: le degré de vide chute en fonctionnement et ne peut pas maintenir les exigences du processus.
Les raisons:
Défaillance de la pompe.
Pollution intérieure sous vide.
Un débit insuffisant d'eau de refroidissement provoque une surchauffe du corps de pompe.
Résolu:
Nettoyez la pompe de diffusion et remplacez l'huile spéciale chaque année.
定期清理真空室。
Vérifiez le circuit d'eau de refroidissement pour vous assurer que le débit est ≥ 5L / min.
5. Le matériau déposé n'est pas uniforme
Phénomène: l'épaisseur ou la composition de la couche de film n'est pas répartie uniformément sur le substrat.
Les raisons:
Le décalage de la source de dépôt ou la vitesse de rotation du creuset n'est pas stable.
Le substrat n'est pas fixé ou il y a occlusion.
Les interférences champ magnétique / champ électrique entraînent une déviation du flux de faisceau.
Résolu:
Ajustez la position de la source de dépôt pour assurer l'alignement avec le Centre de la base.
Utilisez des pinces d'outillage pour fixer la base et éviter l'occlusion.
Vérifiez les paramètres de la bobine électromagnétique et optimisez la trajectoire du faisceau.
6. échec du contrôle d'épaisseur de film
Phénomène: l'épaisseur réelle du film s'écarte de plus de ± 5% de la valeur de consigne.
Les raisons:
L'étalonnage du cristallographe (épaisseur de membrane) a échoué.
La position de la sonde est décalée ou contaminée.
Fluctuations des paramètres du procédé (p. ex., taux d'évaporation instable).
Résolu:
Calibrer le cristallographe trimestriellement avec une feuille épaisse de film standard.
Nettoyez la surface de la sonde, Ajustez - la à 5 - 10 cm de la base.
Stabilisez la tension d'alimentation et évitez la mutation des paramètres pendant l'évaporation.
7. La pollution gazeuse entraîne une diminution de la membrane
Phénomènes: apparition de trous d'épingle, de taches de couleur ou de diminution de l'adhérence de la couche de membrane.
Les raisons:
Chambre à vide non - plein - échappement de fond (vapeur d'eau résiduelle, oxygène).
Fuite d'air pendant le revêtement.
Le matériau du film absorbe l'humidité ou contient des impuretés.
Résolu:
Aspirer à ≤ 5 × 10⁻⁴ Pa avant le revêtement et cuire pour dégazer.
Vérifiez toutes les interfaces d'étanchéité, Remplacez les joints vieillissants.
Le matériau de membrane doit être pré - fondu et dégazé dans une chambre à vide avant utilisation.
8. Défaillance du système de chauffage
Phénomène: la température de base ne peut pas atteindre la valeur de consigne ou fluctue trop.
Les raisons:
L'élément chauffant est coupé ou mal touché.
Le paramètre PID du thermomètre est mal réglé.
La position du thermocouple est décalée ou endommagée.
Résolu:
Vérifiez la connexion du fil chauffant, Remplacez l'élément de coupure.
Réalignez les paramètres du thermomètre.
Ajustez le thermocouple à la position centrale de la base et calibrez - le une fois par an.
9. Défaillance du système de contrôle électronique
Phénomène: le panneau de commande ne répond pas ou les paramètres affichent une exception.
Les raisons:
La plaque de contrôle est humide ou poussiéreuse.
La connexion du capteur est desserrée ou endommagée.
Crash du logiciel.
Résolu:
Nettoyez régulièrement l'armoire de commande avec de l'air comprimé sec.
Vérifiez la ligne du capteur et remplacez l'élément défectueux.
Redémarrez le système ou réinstallez le logiciel de contrôle.
10. Anomalies du système filament / faisceau
Phénomène: pas de sortie de flux de faisceau ou de grandes fluctuations de flux de faisceau.
Les raisons:
Le filament est brûlé ou vieilli.
Le limiteur de faisceau n'est pas remis à zéro ou le potentiomètre est défectueux.
Le capot de protection d'électrode haute tension est court - circuité.
Résolu:
Remplacez le nouveau filament et assurez - vous que la position est centrée lors de l'installation.
Le limiteur de faisceau est remis à zéro et redémarré après préfusion.
Vérifiez l'isolation du capot de protection et Nettoyez les points de court - circuit.