I. nom de l'instrument

Nom chinois:Microscope électronique à balayage par émission de champ

Nom anglais:Microscope électronique à balayage par émission de champ

II. Modèle:ZEISS GEMINI 500

Iii. Fabricant:Société Zeiss AllemagneZEISS

Iv. Introduction aux instrumentsPour:

ZEISS Gemini 500Le microscope électronique à balayage est un microscope électronique à balayage à émission de champ entièrement fonctionnel (FE-SEM), peut être réalisée avec des électrons secondaires et des électrons rétrodiffusés à haute résolution, à haute adhérence et à haut rapport signal sur bruitEn lentilleLa détection permet d'obtenir des images nettes même pour les échantillons non conducteurs exigeants, avec une imagerie de doublure et de basse tension pour une grande variété d'échantillons. Contient également BrookeXSpectromètre d'énergie de rayon, qui peut être employé couramment dans la topographie de microzone et l'analyse de composition.

V. Principales caractéristiques et indicateurs techniques de l'instrument:

1. résolution:≤0,6 nm@ 15KV(électrons secondaires), ≤1.1nm@1kV(électrons secondaires, sans aucun mode spécial); ≤1,2 nm@ 500V;

2. Grossissement:20 - 2 000 000

,Selon le changement de la tension d'accélération et de la distance de travail, le grossissement est automatiquement calibré, le grossissement faible par rapport au grossissement élevé ne nécessite aucun changement de mode;

3. Pistolet électronique: SchottkyEmission de champ thermiquePistolet électronique;

4. Tension d'accélération ou plage de tension d'atterrissage:0,02 kVà30 kV, pas à pas10 V, réglable en continu;

5. Courant de la sonde: courant maximal ≤100 nA;

6. Design de Lentille électrostatique à l'intérieur du barillet, peut être paireMatériaux ferromagnétiquesEffectuer une imagerie haute résolution;

7. Peut contenir la taille maximale de l'échantillon ≥200 mm, hauteur maximale de l'échantillon ≥60 mm;

8. Table d'échantillons à moteur central à cinq axes, portée maximale mobileIndicateurs:X ≥130mm,Y ≥130mm,Z≥50mm, inclinaison bidirectionnelle, plage d'inclinaison- 3° - 70°, rotation ≥360°(rotation continue);

9. Chambre d'échantillon avec détecteur électronique rétrodiffusé indépendant (EsB);

10. Détecteur d'électrons secondaires à l'intérieur de l'échantillon (SE);

11. Monté sur l'Axe optique positif à l'intérieur du cylindre de miroir super haute résolutionEn lentilleDétecteurs d'électrons secondaires (En lentille SE);

12. Equipé de serrure à air (verrouillage à air), le temps d'aspiration de l'échantillon de remplacement est plus court;

13. Spectromètre d'énergie ≥60 mm²Zone active

Vi. Principales fonctions de l'instrument et son utilisation:

1. Observation de la Microtopographie des matériaux pour les domaines de la science des matériaux (matériaux métalliques, matériaux non métalliques, nanomatériaux, matériaux organiques), des sciences chimiques, de la métallurgie, de la biologie, de la médecine, des matériaux et dispositifs semi - conducteurs, de l'exploration géologique, de la reconnaissance criminelle, de la production industrielle, etc. (les échantillons liquides doivent être suffisamment séchés pour être testés)

2. Analyse en temps réel de la composition des microzones pour les matériaux, analyse quantitative et qualitative de la composition des éléments, balayage rapide des surfaces polymériques et mesure de la distribution par balayage ponctuel et linéaire.

Vii. Images des instruments

Viii. Exemples d’applications

1. Analyse topographique:

Un certain groupe de sujets pour la préparation de Nanostructures d'argent métallique, il est nécessaire d'observer leur structure microtopographique, afin de vérifier que ce Nanomatériau d'argent a de bonnes perspectives d'application dans le domaine de la catalyse. Nous avons testé cet échantillon avec différents grossissements, différents modes de balayage ainsi que des tests de spectrométrie énergétique, et les résultats sont les suivants:

1.1 Différentes observations de grossissement

1.2 Observation dans différents modes de scan

2. EDSAnalyse qualitative des éléments:

2.1Scan de points

2.2 Scan de ligne

2.3 Scan des faces

Note: l'article est reproduit dans le Département des sciences des matériaux et de l'ingénierie de l'Université de technologie de qirouZeiss g500 microscope électronique à balayage ultra haute résolution« la.