Présentation de l'équipement

Microscope électronique à balayage + exposition par faisceau d'électrons

Les miroirs électriques à balayage Zeiss sigma300 sont utilisés pour observer la structure de surface des matériaux conducteurs aux niveaux micrométrique et submicronique et sont polyvalents. La direction de la matière condensée est principalement utilisée pour vérifier les résultats de la fabrication de circuits miniatures, de guides d'ondes et d'autres matériaux.

Le miroir à balayage est équipé du logiciel d'exposition par faisceau d'électrons Raith, qui permet la conception et l'exposition de circuits dimensionnels avec un champ d'écriture maximal de 1000um et une précision maximale de 100nm.

Indicateurs de performance: résolution: 20nm - - - 10kV, tension d'accélération: 100V - 30kv, grossissement: 50 - 500k, détecteur: détecteur d'électrons secondaires Se2, détecteur inlens et caméra CCD infrarouge.

Application principale: applicable à l'observation de la topographie de surface des matériaux conducteurs et non conducteurs, obtenir une image électronique secondaire de la topographie de surface.

Exigences relatives aux échantillons: échantillon sec solide non en poudre, surface propre de l'échantillon, non huileuse, non magnétique et non facilement magnétisable, l'échantillon ne doit pas contenir de fer (Fe), de cobalt (CO), de nickel (ni). La hauteur est inférieure à 20mm et le diamètre est inférieur à 50mm. Classe poreuse ou échantillon facilement hygrolytique, s'il vous plaît sécher le traitement sous vide à l'avance. L'échantillon doit être électriquement conducteur. Si l'échantillon n'est pas conducteur de l'électricité, il est nécessaire d'effectuer le traitement du film conducteur d'or, de carbone, etc.

Note: l'article est reproduit sur la plate - forme d'annonce de la faculté de physique et d'astronomie de l'Université Jiao Tong de Shanghai《Microscope électronique à balayage & exposition par faisceau d'électronsLe)