En tant qu'outil analytique avancé dans le domaine de la science des matériaux,Grâce à leur conception modulaire et à leur interface de fonctionnement intelligente, les miroirs électriques à balayage de la série Evo de Zeiss offrent aux chercheurs une solution complète, de l'imagerie fondamentale à l'analyse complexe.Ce système passe en revue ses processus opérationnels et les points techniques clés.

　　I. préparation du démarrage et auto - inspection de l'équipement

Les paramètres environnementaux doivent être confirmés avant le démarrage du miroir électrique à balayage Zeiss: contrôle de la température à 20 - 24 ° C, humidité inférieure à 65%, alimentation électrique UPS normale. Les opérateurs doivent porter des gants antistatiques pour éviter de contaminer les échantillons ou d'endommager les composants électroniques. Après avoir allumé le commutateur d'air à l'arrière de l'unité principale, appuyez successivement sur les boutons standby et on et le système entre dans le Programme d'auto - test. À ce stade, il est nécessaire d'observer l'état de fonctionnement de la pompe à vide, de s'assurer que la pompe mécanique et la pompe moléculaire démarrent normalement, la lecture du vacuomètre diminue progressivement en dessous de 1,3 × 10 ⁻⁴ mbar.

　　II. Chargement des échantillons et réglage des paramètres

Après avoir libéré le vide de la Chambre d'échantillon à l'aide d'une vanne de gonflage, une table d'échantillon fixée par une colle conductrice est chargée dans une table de transport à cinq axes à l'aide d'une pince annulaire. Pour les échantillons non conducteurs, un traitement de revêtement d'or ou de carbone doit être effectué à l'avance pour éliminer l'effet de charge. Réglez la tension d'accélération (EHT) dans le logiciel smartsem, 10 - 30kv est recommandé pour les échantillons conducteurs et 1 - 5kV mode basse tension pour les échantillons non conducteurs avec la technologie de réduction du faisceau d'électrons. La distance de fonctionnement (WD) est généralement réglée à 8,5 mm, un paramètre qui affecte directement la résolution de l'image par rapport à la force du signal.

　　Sélection et optimisation des modes d'imagerie

La série Evo est équipée du système de lentilles optibeam et prend en charge cinq modes de commutation d'observation:

1. Mode se à vide élevé: utilisez le détecteur d'électrons secondaires (Se2) pour obtenir des informations sur la topographie de surface, applicables aux échantillons conducteurs métalliques, céramiques et autres;

Mode électronique rétrodiffusé (BSD): différencier les différences de composition des matériaux par contraste de numéro atomique, couramment utilisé dans l'analyse des matériaux composites;

Mode 3.low-vacuum: l'échantillon contenant de l'eau ou contaminé peut être observé sans pulvérisation d'or, le degré de vide peut être maintenu à 20 - 260pa;

4. Mode de décélération du faisceau d'électrons: réduisez l'énergie d'atterrissage effective en appliquant une tension de polarisation pour améliorer considérablement la qualité d'imagerie des échantillons non conducteurs.

En fonctionnement, il est nécessaire de contrôler le mouvement de la table de charge en combinaison avec un balancier, en utilisant la fenêtre reduce pour la mise au point progressive, et finalement obtenir des images de résolution Sub - nanométrique à un grossissement de 100000 fois.

　　Opérations intégrées d'analyse spectrale (eds)

Une fois le spectromètre Oxford Inca X - Act connecté, créez un fichier de projet dans le logiciel Aztec, sélectionnez le mode balayage ponctuel, balayage linéaire ou balayage de surface. Lorsque vous effectuez un balayage de surface, vous devez définir le nombre de passes d'acquisition et le système génère automatiquement des cartes de distribution des éléments et des rapports de pourcentage de qualité. Les données expérimentales montrent qu'à une distance de travail de 8,5 mm, le taux de comptage de sortie peut être maintenu de manière stable au - dessus de 1000 CPS, assurant ainsi la précision des données.

　　V. maintenance et gestion des données d'arrêt

Une fois l'analyse terminée, appuyez sur shutdown Gun pour éteindre le filament et éteindre le logiciel smartsem, em Server et l'alimentation de l'hôte. Après avoir laissé le système refroidir pendant 30 minutes, coupez l'interrupteur d'air et enregistrez le journal de fonctionnement de l'appareil. Les données brutes doivent être étiquetées avec des conditions expérimentales, permettant l'Association de données entre appareils via le logiciel zen Core, fournissant une chaîne de traçabilité complète pour les analyses ultérieures.

Les miroirs électriques à balayage Zeiss réduisent la complexité de fonctionnement des miroirs électriques traditionnels de plus de 60% grâce à une caméra de navigation intelligente et à une conception de flux de travail automatisée. Son architecture modulaire prend en charge des applications multi - scénarios allant de la recherche scientifique fondamentale au contrôle de qualité industriel, offrant une solution efficace et fiable pour la caractérisation des matériaux.