Filtre négatif– un dispositif multicouche qui « laisse aller la lumière rouge et laisse la lumière bleue» – ce qui semble être une feuille de verre de quelques microns d’épaisseur, détermine la qualité d’imagerie du lidar, de l’endoscope médical, des lumières de scène. Son taux de finition est passé de 70% à 95%, la clé n'est pas dans les machines de revêtement plus chères, mais dans le contrôle du processus de « calculer chaque erreur de couche à l'avance». Découvrez ci - dessous les quatre lois de fer qui sous - tendent son rendement élevé.I. la base "propre" n'est pas conforme à la norme, derrière tout blanc
Après avoir ouvert le verre b270 a été nettoyé par RCA - 1 pendant 15 min (nh₄oh: h₂o₂: h₂o = 1: 1: 5, 75 ℃), le résidu organique a été réduit à < 0,3 nm; dans un autre bombardement plasma de 10 min, l'énergie de surface a augmenté à 72 mn · m⁻ ¹, de sorte que l'adhérence de la première couche de ta₂o₅ de 2,5 n à 5,8 N, suivi d'une cuisson à 200 ℃ n'est pas pelable.
II. Le faisceau d'ions "vitesse stable" est plus important que "vitesse élevée"
La machine de revêtement utilise une source d'ions RF de 6 cm, PID contrôle en boucle fermée la lame de cristal de 2 inch, la fluctuation du taux de dépôt à ± 0,2%. Par exemple, 532 nm interférométrie feuille de coupure, 21 couches de film, épaisseur totale de 3,8 µm, tant que le taux de dérive de 1%, la longueur d'onde centrale sera décalée de 2 nm, le taux de passage chute instantanée de 10%. Le taux s'est stabilisé et la longueur d'onde est passée de ± 3 nm à ± 1 nm, augmentant le taux de qualification de 15% à la fois.
Iii. Surveillance extrême en temps réel "zéro retard" correction d'erreur
Au cours du processus de dépôt assisté par faisceau d'ions (IAD), un spectromètre de niveau puce acquiert des extremums de transmission toutes les 0,5 s, calcule l'indice de réfraction réel de la couche courante n ± 0001 en 1 s de l'algorithme et corrige la puissance du canon à électrons en sens inverse. La couche 7 a constaté que n était inférieur de 0,8%, le système a immédiatement complété l'épaisseur de ta₂o₅ par 1,2 nm, ramenant la longueur d'onde à la valeur de conception. Par rapport à la « remise à l'essai» traditionnelle, le taux de reprise d'une seule pièce est passé de 8% à moins de 1%.
Iv. équilibre de stress "sandwich" structure anti - fissuration
La lame laser haute puissance nécessite un seuil de dommage de 60 j.cm⁻² et la contrainte de la couche de membrane doit être proche de zéro. Les ingénieurs ont alterné ta₂o₅ (+ 180 MPa) avec sio₂ (- 120 MPa) dans un rapport d'épaisseur de 2: 3 et ont ajouté une couche tampon à faible contrainte de 20 nm de mgf₂ à la couche la plus externe, la contrainte globale a diminué de + 350 MPa à + 30 MPa, choc chaud et froid de 24 H (- 40 ℃) ↔ 85 ℃) après aucune fissuration, le taux de réussite de l'essai environnemental est mentionné par 85% à 98%.
Ainsi, le rendement élevé n'est pas « plaqué rapidement», mais « calculé, contrôlé de manière stable», éliminant chaque erreur nanométrique avant que la lumière ne pénètre dans le verre.