L'unité est un Institut de recherche affilié à l'Académie chinoise des sciences et est un important Institut de recherche et développement dans le domaine de la science et de la technologie microélectronique et des circuits intégrés en Chine. La principale direction d'application est l'étude pertinente des dispositifs et circuits semi - conducteurs composés.

PLSINTECProduit par la sociétéUltraShapeTMLe système d'inspection et de tri de la taille de la topographie des plaquettes est le système d'inspection qui peut atteindre la capacité la plus élevée de l'industrie. La détection de la taille de la topographie de la plaquette est importante dans le processus de fabrication.

Dans tous les maillons de la conception, de la fabrication et de l'emballage des semi - conducteurs, des tests et des tests répétés et répétés sont nécessaires pour garantir que le processus est conforme aux indicateurs prédéfinis et empêcher les gaufrettes non conformes présentant des écarts et des défauts d'entrer dans le processus de processus suivant. De la validation de la conception à l'ensemble du processus de fabrication des semi - conducteurs, les dispositifs de détection occupent une place importante et irremplaçable.

UltraShapeTMLe système de détection et de tri de topographie cristalline utilise un capteur antipodes confocal à double sonde spectrale à haute précision et à grande vitesse pour réaliser une mesure sans contact de la plaquette; Combiné à un module de mouvement de haute précision et à un manipulateur de plaquettes, la précision de mesure de la topographie des plaquettes atteint le niveau submicronique. Le système s'applique aux plaquettes de plusieurs matériaux, notamment le silicium, le carbure de silicium, le saphir, le verre, l'arséniure de gallium, le Nitrure de gallium, etc.; Les mesures dimensionnelles et structurelles réalisables comprennentTTVEt,arcEt,WarpEt,ÉpaisseurEt,TIREt,SagEt,LTV(Carte complèteTest), etc.