Le client, l'un des chefs de file de l'industrialisation des dispositifs de puissance en carbure de silicium (sic) en Chine, a installé le premier thetametrisis fr - scanner - AIO - MIC en 2021 et, en raison du bon état d'utilisation du banc, le client a acheté un deuxième et un troisième équipement supplémentaires cette année (y compris les gammes visible et ultraviolette).
Le fr scanner AIO MIC Membrane thickmeter utilise l'interférométrie visible dans la gamme de longueurs d'onde 370 - 1020 nm, est capable de mesurer l'épaisseur de la couche de membrane (lentille 5X) dans la gamme 12 nm - 90 µm avec une précision allant jusqu'à 0,2% ou 2 nm avec une précision de 0,02 nm, ce qui en fait un appareil de mesure d'épaisseur de membrane rentable. La configuration de la lumière ultraviolette du scanner fr, avec une gamme de longueurs d'onde aussi basse que 200 nm, peut être appliquée à des épaisseurs de couche de film (lentilles 5X) allant de 4 nm à 60 µm avec une précision allant jusqu'à 0,1% ou 1 nm. La plupart des jauges d'épaisseur de film sur le marché présentent une réduction importante de la plage de mesure de l'épaisseur de film de l'appareil après l'ajout de la configuration du microscope, mais ce n'est pas le cas avec les produits thetametrisis, dont la plage de mesure de l'épaisseur de film reste large. Il convient de mentionner que la mise en œuvre de la fonction de mesure Mapping multipoint est livrée de série avec la série fr - scanner.