Qu'est - ce que l'effet de charge?

La microscopie électronique à balayage est principalement utilisée pour l'observation de la Microtopographie de la surface de l'échantillon, mais souvent pendant l'observation de l'échantillon en raison de l'effet de charge qui rend l'image anormalement lumineuse, déformée et même l'apparition d'une image floue, ce qui affecte gravement la qualité de l'image.

Figure 1 courbe caractéristique d'émission d'électrons d'un matériau isolant solide. L'abscisse est l'énergie électronique incidente et l'ordonnée est le rendement électronique de l'échantillon. Le phénomène de charge peut être représenté par la loi du courant de Kirchhoff, c'est - à - dire que la somme des courants circulant instantanément vers un point de jonction est égale à la somme des courants sortant d'un noeud. Les expressions de formule suivantes sont disponibles:

Dont I_pEst le courant des électrons incidents, δI_bEst la somme des courants des électrons rétrodiffusés et des électrons secondaires, I_scEst le courant de masse de l'échantillon, q étant la charge de décharge pendant le temps T.