Principe technique:

Technologie des sources électroniques
L'utilisation d'un canon à électrons à émission de champ Schottky ou à émission de champ thermique permet aux électrons métalliques de se désengager par un fort champ électrique, formant un faisceau d'électrons à haute luminosité et à haute cohérence. Sa luminosité est bien supérieure à celle d'un canon à électrons à émission thermique traditionnel, le diamètre de la tache de faisceau peut être inférieur à 1 nm, améliorant considérablement la résolution d'imagerie.

Système optique électronique
Le faisceau d'électrons est focalisé par la lentille électromagnétique, après la déflexion forme une sonde fine, balayage ligne par ligne sur la surface de l'échantillon, produisant des électrons secondaires, des électrons rétrodiffusés et d'autres signaux. Ces signaux sont collectés et traités par le détecteur, générant une image reflétant la topographie, la composition de l'échantillon.

Système de vide
Maintenir un environnement de vide élevé, empêcher la diffusion du faisceau d'électrons et la contamination de l'échantillon, assurer la stabilité du signal. Certains modèles prennent en charge le mode de vide faible pour une observation directe des échantillons aqueux ou non conducteurs.

Miroir électrique à balayage par émission de champ de tableParamètres de performance:

Résolution: la résolution de l'image électronique secondaire peut atteindre 1,0 nm et certains modèles peuvent encore maintenir une résolution de 1,4 nm à basse tension (1 kV), ce qui convient à l'observation d'échantillons isolés ou sensibles au faisceau d'électrons.

Grossissement: peut être jusqu'à un million de fois, couvrant les besoins analytiques de la topographie macroscopique aux Nanostructures.

Tension d'accélération: la plage est généralement de 0,2 à 30 kV et prend en charge l'imagerie à basse tension pour réduire les dommages à l'échantillon.

Détecteur: il est équipé de série d'un détecteur d'électrons secondaires (se), d'un détecteur d'électrons rétrodiffusés (BSE) et d'un spectromètre d'énergie (eds) qui synchronisent l'observation topographique et l'analyse élémentaire.

Table d'échantillon: prend en charge les échantillons de grande taille, certains modèles sont équipés de la fonction de rotation inclinée pour réaliser une observation Multi - angle.