L'unité de pompe good excimer MPU - 90i est un produit innovant composé d'une pompe turbomoléculaire + d'une pompe frontale + d'une jauge à vide, adapté aux domaines de la microscopie électronique à balayage / transmission (SEM / TEM), du spectromètre de masse, de la table de sonde à vide cryogénique, de la machine de revêtement sous vide, de l'équipement de dépôt de couche atomique / laser (ALD / PLD), du four de recuit sous vide, du détecteur de fuite à spectrométrie de masse à hélium, du tube de quartz scellé sous vide ultra - élevé et d'autres domaines, offrant aux utilisateurs

1. Vide ultra - élevé: le degré de vide extrême peut atteindre 10^-6Pa， Affichage numérique d'écran tactile de degré de vide

2. Facile à utiliser: fournir une interface de fonctionnement en chinois et en anglais, écran tactile un clic pour démarrer la pompe moléculaire et la pompe de l'étage avant

3. Programme de contrôle intelligent: Adoptez le « Programme de contrôle intelligent d'il », évitez la pompe moléculaire endommagée par l'opération incorrecte, logiciel de contrôle, opération facile, sûre et fiable

4. Une machine à double usage: la pompe de l'étage avant peut être utilisée indépendamment pour répondre au scénario d'utilisation sous vide grossier; Il est également possible d'utiliser la liaison pompe à l'étage avant + pompe moléculaire pour obtenir un environnement de vide ultra - élevé, une machine à double usage, rentable

5. Installation simple: l'unité de pompe moléculaire a terminé la pompe moléculaire, la pompe de l'étage avant, l'installation de l'écran tactile avant de quitter l'usine et a terminé la détection d'étanchéité à l'air

6. Jauge de vide à pleine échelle: plage de mesure de vide 1x10⁵-1x10^-6Pa, Le montage vertical assure une mesure précise