Paramètres techniques détaillés de la machine de nettoyage au plasma good Zhi

Nom: nettoyeur plasma

Marque: Guangzhou shanzhou Technology Co., Ltd

Modèle: VP - R3

Spécifications techniques:

1, matériau de la cavité: verre de quartz

2, capacité de cavité: Φ150×200lmm

3 *, puissance d'alimentation RF: 160W

4 *, fréquence RF: 13,56 MHz

5, décalage de fréquence: moins de 0,2 kHz

6, bombardement de plasma: de quatre semaines au milieu

7, excitation de plasma: l'écran tactile démarre automatiquement en un clic

8 *, température à l'intérieur de la cavité: 30 minutes de fonctionnement à pleine puissance température de la cavité < 32 ℃

9, temps de nettoyage: 0 - 1800 s réglable, précis à 1 seconde

10, réglage de puissance: Haute école basse troisième vitesse réglable

11, affichage: écran tactile de 4,3 pouces

12 *, contrôle d'opération: contrôle d'écran tactile et fournit deux interfaces d'opération en chinois et en anglais

13, débitmètre de gaz: débitmètre à flotteur à 2 voies de haute précision

14, fournir la voie d'admission d'air: deux voies d'admission d'air, débit de gaz 0 - 300ml / min réglable (gaz couramment utilisés: argon, oxygène, azote, hydrogène, autres gaz mélangés)

15, tuyau d'admission: deux tuyaux 6x4pu avec raccord à vis rapide de 6 Tours à l'extrémité arrière

16, décompression: le nettoyage est terminé avec décompression automatique, la durée et la vitesse de décompression sont réglables. Disponible avec des canaux de décharge d'azote ou d'autres gaz (en option)

17, degré de vide de pompe à vide: 0.5pa

18, vitesse d'extraction: 4m³ / h

19, bruit: 52db

20, temps d'aspiration: démarrage à l'émission de lueur ≤ 50 secondes

21 *, détection du vide: affichage numérique, observation en temps réel de l'état du degré de vide de la cavité

22 *, détection de fuite: une fonction de détection de fuite d'un bouton sur l'écran tactile

23, méthode de refroidissement: refroidissement par air forcé

24, porte de cavité: avec la fenêtre visuelle en alliage d'aluminium de haute résistance et la reconnaissance automatique d'on / off sur l'écran tactile

25 *, contrôle de la pompe à vide: l'unité principale est couplée à la pompe à vide, peut contrôler la pompe à vide sur / hors de l'écran tactile de l'unité principale

26, alimentation électrique: AC220V / 50hz

27, balance de boîte: tasse de pied en caoutchouc absorbant les chocs

28, taille de châssis lxwxh: 560x450x360mm

29 *, contrôle de la température: à la fréquence d'excitation du plasma de 13,56 MHz, la température dans la Chambre de nettoyage ne dépasse pas 32 ° c après 30 minutes de fonctionnement à pleine puissance, le processus de nettoyage ne nuit pas aux performances de l'échantillon lui - même

30 *, garantie de qualité: 2 ans pour l'unité principale, 1 an pour la pompe à vide

31, configuration: hôte VP - R3, pompe à vide à double étage, soufflet de 2 mètres, plateau de nettoyage, Manuel d'instruction, certificat de conformité, carte de garantie, tube d'échappement externe 2 PCS