Revêtement sous vide (par exemple, Pulvérisation magnétron, revêtement par évaporation,PECVD) les besoins fondamentaux sontMaintien du vide élevé, faible pollution, rythme de processus stableLe matériau d'étanchéité, le diamètre de passage, la vitesse d'ouverture et de fermeture de la vanne à vide doivent être adaptés à la profondeur du processus (aspiration, revêtement, entrée et sortie de la pièce), voici la logique de correspondance spécifique:

Matériau d'étanchéité: adaptez le vide et les médias, éliminez la pollution

Le matériau d'étanchéité détermine directement le taux de fuite, la résistance à la température et la libération de contaminants de la vanne, en combinaison avec le niveau de vide du processus de revêtement et le choix du type de média:

1. Matching matériaux d'étanchéité par degré de vide

2. Exigences particulières pour les médias de processus

•Si le processus de revêtement utilise des gaz corrosifs (tels que le chlore, le fluorure): préférenceCaoutchouc perfluoré (FFKM) et ouHastelloy scellé, pour éviter que le vieillissement du caoutchouc entraîne une défaillance de l'étanchéité et des fuites de gaz;

•S'il s'agit d'un système de vide sans huile (par exemple, revêtement semi - conducteur): il est strictement interdit d'utiliser des matériaux d'étanchéité contenant de l'huile, à sélectionner “Certification sans huile« etJoint en caoutchouc ou en métal, assortiMKSUtilisation de la pompe à vide sèche pour éviter la contamination du revêtement par les vapeurs d'huile;

•Processus de revêtement à haute température (par exemple, revêtement évaporatif à haute température, température >300℃): sélectionnéJoints métalliques (coussinets en cuivre, coussinets en aluminium) Ou caoutchouc fluoré résistant à haute température pour empêcher la décomposition à haute température du matériau d'étanchéité de produire des contaminants.

3. Adaptation au système de détection de fuite

Le taux de fuite du matériau d'étanchéité doit correspondre à la précision de détection de fuite du système de vide, il est recommandé de choisir le taux de fuite≤10⁻¹⁰ Pa・m³/sLes valves (telles queMKSValve de vide assortieFFKMJoint d'étanchéité), formant une boucle fermée avec le détecteur de fuite par spectrométrie de masse à hélium, assurant la stabilité du vide de la cavité de revêtement.

II. Diamètre: correspond à la demande de débit et au rythme du processus, équilibre l'efficacité et la rétention du vide

Le diamètre de passage (diamètre intérieur de la vanne) détermine la vitesse d'évacuation des gaz et la capacité de la pièce à usiner, doit être combiné avec le volume de la cavité de revêtement, le temps d'aspiration, la taille de la pièce à usiner calcul complet:

1. Formule de base de sélection de diamètre (version simplifiée)

Diamètre de passageD(mm) et≈ √(V×S÷t), dont:

•V: volume de la cavité revêtue (L);

•S: vitesse de pompage de la pompe à vide (L/s, commeMKS ÉGEPompe à vide assortie de série);

•t: temps d'aspiration cible (s).

2. Différentes scènes de revêtement correspondant au diamètre de passage

3. Notes clés

•Le diamètre de passage trop grand peut conduire à un risque accru de fuite de vide, doit être associé à une pompe à vide à vitesse d'extraction plus élevée; Le petit diamètre de passage prolongera le temps d'aspiration et réduira le battement de la ligne de production;

•Système de revêtement multicanal (par exemple, Pulvérisation magnétron Multi - cible): le canal d'extraction principal choisit le grand diamètre (DN80 à DN125), canal de dérivation sélectionnez un petit diamètre (DN15 à DN40), réaliser le contrôle de vide de zonage.

Iii. Vitesse d'ouverture et de fermeture: adaptez le processus pour éviter les fluctuations du vide et les défauts de revêtement

La vitesse d'ouverture et de fermeture (temps de la vanne de la fermeture totale à l'ouverture totale) doit être ajustée en fonction des besoins de base du processus, afin d'éviter une vitesse excessive/Une lenteur excessive entraîne des fluctuations du vide ou des problèmes de qualité du revêtement:

1. Différentes vitesses de processus correspondant

2. Synergie entre vitesse et matériaux d'étanchéité

•Vanne à ouverture et fermeture rapides: préférez les matériaux d'étanchéité résistants à l'usure et aux chocs (tels que le caoutchouc fluoré, les joints métalliques), évitez l'usure des joints causée par des interrupteurs fréquents et prolongez la durée de vie;

•Soupape à ouverture lente et fermeture lente: peut choisir un joint en caoutchouc de silicone avec une meilleure élasticité, réduire la force d'impact lorsque la soupape est fermée et améliorer la fiabilité de l'étanchéité.

3. Adaptation aux battements de la ligne de production

•Ligne de production en série (par exemple, revêtement de verre de téléphone portable): Choisissez une vanne à ouverture rapide (0,1 à 0,3 s), appariementMKSFonction de démarrage et d'arrêt rapide de l'alimentation RF, réduisant le temps de processus d'un seul lot;

•Revêtement personnalisé de haute précision (par exemple, lentilles optiques): avec valve à ouverture lente et fermeture lente (2 à 3 s), éviter les fluctuations du vide qui entraînent des défauts tels que l'épaisseur inégale du revêtement, la différence de couleur, etc.

Iv. Cas de correspondance Composite

Avec «100 LCavité de revêtement par Pulvérisation magnétron (vide élevé10⁻⁷ Pa, verre de téléphone portable de production en série)« etPar exemple:

1. Matériau d'étanchéité: sélectionnerFFKMCaoutchouc perfluoré (faible taux de dégonflage, résistance à la corrosion par plasma), correspondant aux exigences de vide ultra - élevé;

2. Diamètre de passage: volume de la cavité revêtue100 litres, vitesse d'extraction de la pompe à vide50 L/s, temps d'aspiration cible60 s, calculer le diamètre de passage≈√(100×50÷60) ≈9 mm, sélection pratiqueDN40（1,5 '), passage, redondance réservée;

3. Vitesse d'ouverture et de fermeture: pour la phase d'aspiration0,2 sVanne électromagnétique à ouverture rapide, pour la commutation des médias revêtus1,5 sSoupape pneumatique à ouverture lente, pour l'entrée et la sortie des pièces3 sL'électrovanne à ouverture lente équilibre efficacité et stabilité.

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