Dans le processus de fabrication de semi - conducteurs, le système de vide est le processus de base de gravure de plaquette, de dépôt de couche mince, d'implantation ionique, etc. “La pierre angulaire- »Sa stabilité à la pression affecte directement la précision de la largeur de ligne, l'uniformité de la couche de membrane et le bon taux de la puce. Et le vacuomètre comme système de vide“Noyau de perception de la pression« etLes écarts de sélection peuvent entraîner une perte de contrôle du processus, la mise au rebut du produit ou même des dommages à l'équipement.

L'environnement sous vide de l'industrie des semi - conducteurs a “Large plage de pression, exigences de nettoyage élevées, complexité des médias« etTrois caractéristiques principales, le type universel traditionnel de jauge à vide est souvent difficile à adapter. Focus sur cet articlePlage de pression, précision, résistance à la pollution Les trois principaux indicateurs, combinés à la logique de sélection du démantèlement des scénarios de processus semi - conducteurs, aident les ingénieurs à éviter les erreurs de sélection et à réaliser une correspondance précise.

I. gamme de pression: processus complet correspondant, rejet “Couverture insuffisante« etou“Redondance excessive« et

Les besoins en vide du processus de semi - conducteur sont énormes, manutentionnés à partir de la plaquette “Le vide grossier« et(10⁵~10² Pa), au processus de gravure« le高真空« et(10⁻¹~10⁻⁵ Pa), au dépôt de film mince« le超高真空« et(10⁻⁶~10⁻¹⁰ Pa), les exigences des différents processus pour les intervalles de pression sont très différentes. Le cœur de la sélection est“Intervalle requis pour le processus de couverture précise« etPlutôt que de poursuivre aveuglément“Gamme complète« et- Oui.

1. Faire correspondre les intervalles de pression par scène de processus

2. Option d'évitement des fosses: éviter“Désalignement de l'échelle« et

L'erreur 1: avec “Vacuomètre à large gamme« etCouvrir le processus complet– –Par exemple, surveiller l'intervalle de vide grossier avec un ultravacuomètre, non seulement la précision de la mesure diminue considérablement (l'erreur peut dépasser± 50%), également en raison de la redondance de l'échelle qui ralentit la vitesse de réponse et ne peut pas capturer les fluctuations de pression à temps.

L'erreur 2: un seul vacuomètre couvre plusieurs segments de processus – –La ligne de production de semi - conducteurs a souvent besoin de Commuter différents processus, il est recommandé d'adopter“Vacuomètre Composite« et(comme capacitifLe +Combinaison ionisée) ou un vacuomètre configuré individuellement avec une plage de mesure adaptée à différentes étapes du processus, assurant une surveillance précise de la pression dans l'ensemble du processus.

II. Précision: plus que regarder “Valeur numérique du paramètre« etPlus adapté à la tolérance aux erreurs de processus

Les exigences de précision de pression des procédés semi - conducteurs “Exigeante« et: par exemple3 nmProcessus de gravure du processus de fabrication, les fluctuations de pression dépassent± 0,1 PaCela peut entraîner des écarts de largeur de ligne qui affectent directement les performances de la puce. Mais le vacuomètre“Précision« etPas plus haut, mieux c'est, la clé est“Correspond à la tolérance aux erreurs de processus« et, tout en conciliant“Répétabilité« etet“Stabilité à long terme« et- Oui.

1. Les dimensions fondamentales de l'évaluation de la précision

1) LePrécision absolue: fait référence à l'écart de la valeur mesurée par rapport à la pression réelle (p. ex. ±0,5 % FS), adapté à la pressionValeur absolue processus exigeants (par exemple, Calibration de pression pour le dépôt de films minces)- Oui.

2. 2.Précision relative: se réfère à l'écart de mesure lorsque la pression varie (par ex. ± 0,1%Lecture), pour les procédés nécessitant une surveillance des fluctuations de pression (par exemple, contrôle dynamique de la pression pour la gravure au plasma).

3. LeStabilité à long terme: les dispositifs à semi - conducteurs nécessitent généralement7×24Heures de fonctionnement continu, la dérive du point zéro du vacuomètre doit être contrôlée dans les limites permises par le processus (il est recommandé que la dérive mensuelle ne dépasse pas±0,05 % FS), sinon, il en résulte une dérive des paramètres du processus, une augmentation de la fréquence d'étalonnage et des coûts d'arrêt.

2. Sélection par exigence de précision de processus

1) LeExigences de haute précision (telles queALDImplantation ionique): sélectionAbsoluePrécision≤±0,2% FSDérive à long terme≤±0,03 % FSLe vacuomètre, en donnant la priorité aux modèles avec fonction d'étalonnage automatique, réduit les coûts de maintenance de la main - d'œuvre.

2. 2.Exigences de précision conventionnelles (p. ex. manipulation des plaquettes, nettoyage): sélectionAbsoluePrécision≤±1% FSLe compteur de vide est correct, en mettant l'accent sur le rapport qualité - prix et la vitesse de réponse.

3. Facile à ignorer“Facteurs influençant la précision« et

1) LePerturbations environnementales: les fluctuations de température dans l'atelier de semi - conducteur, le rayonnement électromagnétique affectera la précision du vacuomètre, besoin de choisir avec la fonction de compensation de température, anti - interférence électromagnétique (EMC) produits certifiés (si conformesnorme IEC 61326Standard).

2. 2.Mode d'installation: l'emplacement d'installation du compteur de vide, la longueur de la ligne entraînera une perte de pression, lors de la sélection du type, vous devez confirmer si le produit prend en charge “Mesure à distance« etou“Calibration multipoint« et, compenser les écarts de précision apportés par l'installation.

Iii. Résistance à la pollution: système de vide semi - conducteur “La ligne de vie« et, éviter“Une pollution en fin de vie« et

Dans le processus de semi - conducteur, il peut y avoir des résidus de colle photolithographique, des vapeurs métalliques, des gaz corrosifs dans le système de vide (tels queCl₂Et,F₂), des polluants tels que ceux qui peuvent se fixer à la surface du capteur du vacuomètre, entraînant une dérive des lectures, une réponse lente et même des dommages au capteur– –Et le système de vide de l'équipement semi - conducteur une fois contaminé, le coût de nettoyage est très élevé et peut également entraîner la mise au rebut de lots entiers de plaquettes. La résistance à la pollution est donc du type à vide semi - conducteur optionnel“Indicateurs clés implicites« et- Oui.

1. Critères d'évaluation de base de la résistance à la pollution

1) LeMatériau du capteur: préférez la céramique, le saphir et d'autres matériaux de capteur résistants à la corrosion et à haute température, évitez d'utiliser des capteurs métalliques (facilement corrodés par des gaz corrosifs).

2. 2.Conception structurelle: sélection “Capteur entièrement étanche« laSonde amovible« etLe vacuomètre, facile à nettoyer régulièrement; Évitez de choisir une conception ouverte où le capteur est exposé à un environnement sous vide.

3. LeCapacité anti - condensation: certains processus produiront de la vapeur d'eau (comme le séchage de la plaquette après le nettoyage), le vacuomètre doit avoir une fonction anti - condensation pour empêcher la condensation du capteur de provoquer un court - circuit ou une distorsion de la lecture.

2. Sélection par type de polluant

3. Valeur ajoutée de la résistance à la pollution: réduction des coûts de maintenance

Les coûts d'arrêt des équipements sur les lignes de production de semi - conducteurs sont très élevés (certaines usines de fabrication de plaquettes perdent plus de 10 10 000 yuans), le vacuomètre résistant à la pollution peut prolonger considérablement le cycle de maintenance– –Par exemple, un vacuomètre ordinaire peut être chaque3 Un nettoyage est nécessaire une fois par mois, tandis que les modèles résistants à la pollution peuvent être prolongés jusqu'à12 Mois, améliorer indirectement l'efficacité de la production.

Iv. Résumé des options:3 Étapes pour une correspondance précise

1.Clarifier les limites du processus: peignez d'abord le processus cible “Plage de pression, exigences de précision, types de contaminants« et, former une liste d'exigences de choix (par exemple: processus de gravure au plasma, plage de pression)10⁻ ² ~ 10¹ Pa, précision± 0,1%Lecture, résistance requiseCl₂Corrosion).

2.Correspondre aux indicateurs de base: presse “Plage de pression couvrant l'intervalle de processus→Tolérance à l'erreur d'adaptation de précision→Résistance à la pollution lutter contre les polluants« etFiltrage séquentiel, en donnant la préférence aux modèles spécifiques à l'industrie des semi - conducteurs (si conformeSémi F40/F47Produits standard).

3.Vérification des exigences supplémentaires: confirmez la compatibilité de l'interface du vacuomètre (par ex.FCLa bride,KFBride), mode de sortie du signal (par ex.4 à 20 mAEt,RS485), le soutien ou nonPLCCoupler le contrôle pour éviter les difficultés d'installation dues à des interfaces incompatibles.

Conclusion

Options de compteur à vide semi - conducteur, l'essence est “Adéquation précise des exigences de processus aux performances du produit- »La plage de pression est déterminée“Peut - on utiliser« etLa précision est décidée.“Utiliser pour« etLa résistance à la pollution est décidée“Utilisé longtemps« et. dans3 nmEt au - dessous de l'excellent processus est devenu le courant dominant aujourd'hui, l'écart de sélection du vacuomètre peut être amplifié par le processus, affectant directement la bonne performance de la puce.

Il est recommandé aux ingénieurs de communiquer avec les fournisseurs en combinaison avec les paramètres spécifiques de leur propre processus (par exemple, l'intervalle de pression, la composition des polluants, les exigences de précision) avant de choisir le type, si nécessaire pour effectuer de petits tests d'échantillon, assurez - vous que le vacuomètre n'est pas seulement “Conformité aux paramètres« et, plus capable“Scène adaptée« et. Seul l'aspiromètre à paire sélectionnée peut construire un donjon pour le fonctionnement stable du système de vide semi - conducteur“Ligne de défense perçue« et- Oui.

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