L'applicateur à vis, également connu sous le nom de machine à coller, de dégraisseur, etc., est un appareil utilisé pour appliquer uniformément un film liquide sur la surface du substrat. Il s'agit d'un type d'équipement de laboratoire et de production largement utilisé dans les domaines de la science des matériaux, de la fabrication de semi - conducteurs, de la microélectronique, de l'optique et de la biomédecine, etc., dont la fonction principale est d'enduire uniformément un film liquide (par exemple, photolithographie, solution de polymère, biomatériau, etc.) sur la surface du substrat (par exemple, feuille de silicium, feuille de verre, feuille de polymère, etc.).
Le matériau liquide est ajouté goutte à goutte au Centre du substrat au repos ou à faible vitesse de rotation, le substrat tourne à grande vitesse sous l'entraînement du moteur, la force centrifuge permet au matériau liquide de s'étaler du centre vers l'extérieur, avec une vitesse de rotation stable, le matériau liquide forme un film uniforme sur La surface du substrat. Pour les liquides contenant du solvant, le solvant se volatilise au cours de la rotation, formant un film solide ou semi - solide.
Le spin Coater permet au matériau liquide de s'étaler uniformément et de former un film d'épaisseur contrôlée grâce à la force centrifuge générée par la rotation à grande vitesse. Le processus spécifique est le suivant:
Goutte à goutte: un matériau liquide, tel qu'une colle lithographique, est ajouté goutte à goutte au Centre du substrat au repos ou en rotation à faible vitesse.
Rotation accélérée: le substrat tourne à grande vitesse sous l'action d'un moteur, la force centrifuge permet au matériau liquide de s'étaler du centre vers l'extérieur.
Formation de film: avec une vitesse de rotation stable, le matériau liquide forme un film uniforme à la surface du substrat.
Volatilisation du solvant (facultatif): pour les liquides contenant du solvant, le solvant se volatilise pendant la rotation, formant un film solide ou semi - solide.
Caractéristiques principales
Uniformité élevée: peut atteindre l'uniformité d'épaisseur à l'échelle nanométrique (± 2% près), convient aux processus qui exigent une grande uniformité du film, tels que le revêtement de photoadhésif, la préparation de revêtement antireflet, etc.
Épaisseur contrôlable: l'épaisseur du revêtement peut être contrôlée avec précision en ajustant des paramètres tels que la vitesse de rotation, le temps de revêtement et la viscosité du matériau.
Large gamme d'applications: large gamme de matériaux applicables, y compris les solutions de polymères, les colles photolithographiques, les encres, les peintures, etc., peuvent également être utilisés pour les substrats de différents matériaux tels que les feuilles de silicium, le verre, le métal, etc.
Précautions opérationnelles
Lors de l'opération, vous devez choisir le disque d'adsorption approprié, mettre le substrat droit, allumer la pompe à vide pour assurer l'aspiration du substrat avant de démarrer la rotation. L'action de goutte à goutte est rapide et se termine dans le temps spécifié. Après l'arrêt du moteur, vous pouvez ouvrir le couvercle supérieur pour retirer les feuilles et nettoyer régulièrement la Chambre d'extraction pour empêcher l'aspiration de colle de bloquer le circuit d'air.