[dynamique de l'industrie du réseau d'instruments chimiques] interférométrie laser se réfère à la méthode de mesure de précision utilisant le LASER comme source de lumière, la longueur d'onde du laser ou la fréquence laser comme référence, en utilisant le principe d'interférence de la lumière, avec les avantages de la mesure sans contact, de la sensibilité élevée et de la haute sensibilité. Les instruments d'interférométrie laser sont généralement utilisés pour la mesure du déplacement, de la longueur, de l'angle, de la base de la face, de la variation de l'indice de réfraction du milieu et d'autres aspects, les interféromètres couramment utilisés sont l'interféromètre de Michelson, l'interféromètre de Mach - zedd, l'interféromètre de fiso, l'interféromètre de tyman - Green et d'autres interféromètres laser sont l'un des moyens efficaces pour réaliser la mesure ultra - précise et la mesure micro - Nano - échelle, qui jouent un rôle extrêmement important Récemment, avec le soutien de projets tels que « équipement de fabrication de circuits intégrés à grande échelle et processus complets» et d'autres projets spécifiques à la science et à la technologie d'importance nationale, l'équipe de recherche de Li Yan, professeur émérite de l'Université Tsinghua et Directeur du Conseil académique du Département d'instrumentation de précision, a achevé le projet « technologie d'interférométrie laser à haute résolution Multi - axes à haute vitesse et à haute résolution», qui a brisé une série de goulets d'étranglement technologiques clés et formé de nouvelles méthodes, systèmes et instruments de mesure. Selon le Directeur Li, le projet a réalisé un système d'interférométrie laser haute résolution à grande échelle, à grande échelle et à grande vitesse, développé par l'auto - recherche sur toute la chaîne, des composants d'interféromètre, de la démodulation de détection de signal à la conception de programmes de détection à degrés de liberté multiples. À l'heure actuelle, le système d'interféromètre laser à double fréquence de la machine de lithographie développé par l'équipe de projet a été appliqué dans le processus de recherche et de développement de l'échantillonneur de table de lithographie autodidacte en Chine, totalisant plus de 50 ensembles. Les résultats de la recherche répondent aux besoins de mesure de précision de la machine de prototypage de table à deux pièces de la machine de lithographie, réduisent la dépendance à l'interféromètre étranger, réduisent les risques de R & D causés par les restrictions à l'exportation de leurs produits pour notre pays et contribuent activement à la mise en œuvre harmonieuse de la recherche et du développement de la table à deux pièces de la machine de lithographie en Chine. En outre, l'interféromètre hétérodyne traçable à résolution Sub - nanométrique développé par le projet a également été appliqué à la recherche et au développement de systèmes de mesure multidimensionnelle laser dans le cadre d'études de vérification d'alignement. L'interféromètre hétérodyne traçable à résolution Sub - nanométrique est capable de déterminer la cause de l'erreur non linéaire du système de mesure multidimensionnelle laser et de la corriger avec un circuit spécialisé, améliorant ainsi les performances du système de mesure multidimensionnelle laser de l'unité concernée. La nouvelle méthode d'interférométrie traçable proposée par l'équipe de développement a contribué à la redéfinition de l'unité molaire par la constante d'Avogadro. Il convient également de mentionner que dans le passé, notre pays n'a pas maîtrisé la technologie de base pour la recherche et le développement d'instruments d'interférométrie laser, mais le succès de ce projet a d'un seul coup brisé les restrictions et le monopole étrangers sur nos instruments d'interférométrie laser, enrichi notre théorie et notre technologie d'interférométrie laser, ce qui signifie que la recherche et le développement de nos équipements et instruments auront des performances stables et ne seront pas soumis à la capacité étrangère de mesure et de traçabilité. Dans l'ensemble, les résultats de cette recherche ont des avantages techniques, économiques et sociaux très importants. La technologie d'interférométrie laser est un moyen important de garantir la nanométrie traçable, ainsi que la technologie de test métrologique clé qui pousse notre pays vers une puissance métrologique, une puissance manufacturière. Nous croyons que la technologie d'interférométrie laser de notre pays continuera à progresser et à apporter plus d'avantages à notre pays que l'équipe de R & D poursuit ses recherches approfondies.