RIEMachine de Gravure ionique réactiveIl est utilisé dans le système sous vide avec le plasma de gaz moléculaire pour effectuer la gravure, l'utilisation de la réaction chimique induite par ion pour réaliser la gravure anisotrope, c'est - à - dire l'utilisation de l'énergie ionique pour faire la surface de la couche gravée une couche facilement gravée endommagée et faciliter la réaction chimique, tandis que les ions peuvent également nettoyer les générateurs de surface pour révéler le rôle de la surface propre gravée.
RIEMachine de Gravure ionique réactiveMéthodes de maintenance:
1. Nettoyez régulièrement les surfaces intérieures et extérieures. Utilisez un détergent approprié et un chiffon doux pour nettoyer la chambre à vide, les électrodes, la source d'ions et d'autres composants clés.
2. Vérifiez régulièrement les différents paramètres et capteurs de l'équipement pour garantir sa précision et sa précision. L'étalonnage comprend le contrôle et l'ajustement de paramètres tels que l'énergie du faisceau d'ions, l'uniformité du faisceau d'ions, le débit de gaz, la puissance RF, etc.
3. Pendant l'utilisation, faites attention à protéger les composants clés de l'équipement, tels que la source d'ions, l'électrode et la chambre à vide, etc. Évitez d'utiliser trop de puissance et trop d'énergie de faisceau d'ions pour éviter les dommages aux composants ou l'usure prématurée. Assurez - vous d'utiliser les gaz et les produits chimiques appropriés pour éviter la corrosion ou d'endommager l'équipement.
4. Lors de l'utilisation de l'équipement, les pratiques d'exploitation de sécurité et les manuels d'exploitation pertinents doivent être respectés. Utilisez des équipements de protection individuelle tels que des lunettes de sécurité, des gants et des vêtements de protection. Assurez - vous que la zone de travail autour de l'appareil est propre et exempte d'obstacles et évitez d'utiliser des accessoires et des fournitures endommagés ou non conformes.
5. Inspection régulière de l'équipement, y compris la vérification de l'état de fonctionnement du système de vide, du système d'alimentation en air, de l'alimentation RF et du système de contrôle. Inspecter et remplacer les pièces usées ou vieillissantes pour assurer le bon fonctionnement de l'équipement.