Profileur de surface 3DC'est un instrument de métrologie de précision pour la mesure de haute précision de la topographie tridimensionnelle de la surface des objets, largement utilisé dans l'électronique, l'automobile, les semi - conducteurs, la science des matériaux et l'inspection industrielle.
Profileur de surface 3DLa performance est déterminée par les paramètres techniques clés, les exigences des différents scénarios d'application pour les paramètres diffèrent considérablement, lors de l'achat, vous devez vous concentrer sur les indicateurs suivants:
1, gamme de mesure:
La plage latérale (axe X / y, qui détermine la * grande taille de l'échantillon mesurable) et la plage longitudinale (axe Z, qui détermine la * grande différence de hauteur de la surface mesurable) sont incluses.
2, résolution:
Résolution longitudinale: mesure de la capacité à distinguer de petites différences de hauteur entre les surfaces, qui est l'indicateur de base;
Résolution latérale: mesure de la capacité à distinguer les petites caractéristiques latérales d'une surface, en relation avec le grossissement de l'objectif, les pixels du détecteur du système optique.
3, précision de mesure:
Se réfère à l'écart du résultat de la mesure par rapport à la valeur réelle et comprend généralement une erreur de linéarité (linéarité du déplacement de l'axe Z), une erreur de répétabilité (écart de mesure de la même position plusieurs fois), une erreur de planéité (écart de mesure du plan d'étalonnage).
4, vitesse de mesure:
En fonction de la méthode de numérisation (balayage point par point, balayage linéaire, balayage de face) et de l'efficacité du traitement des données:
Type de projection de lumière structurelle: balayage de face, vitesse * rapide (niveau milliseconde, adapté à la détection en ligne);
Microscope à force atomique: balayage point par point, vitesse * lente (niveau minute, adapté à l'analyse de précision hors ligne);
Interféromètre à lumière blanche: balayage linéaire, vitesse moyenne (de l'ordre de la seconde à la minute, combinant précision et efficacité).
5, compatibilité d'échantillon:
Inclure le matériau de l'échantillon (métallique, non métallique, transparent / opaque, conducteur / isolant), la taille (s'adapte ou non à la table d'échantillonnage), l'état de surface (lisse / rugueux, sec / humide).