Analyseur AMC pour semi - conducteursLes caractéristiques techniques sont les suivantes:
Technologie de détection haute sensibilité
Technologie de spectroscopie d'absorption améliorée par cavité (CEAS): grâce à une cellule d'absorption de gaz à longue portée optique autodidacte et à un pilote laser à ultra faible bruit, une sensibilité de niveau ppb (Parties par milliard) permet une détection précise des composants gazeux traces tels que co₂, ch₄, etc., conformément aux normes de l'Organisation météorologique mondiale (OMM) et du système intégré d'observation du carbone (ICOS).
Technologie de spectrométrie de masse à temps de vol: tel que le moniteur vocus ABC utilise la spectrométrie de masse à temps de vol à ionisation chimique en temps réel, combinée à la polarité de tension rapide de la technologie et à la commutation des ions réactifs, prend en charge le mode d'ionisation chimique jusqu'à six ions réactifs simultanément, avec une couverture spectrale de plusieurs AMC dans un cycle de 2 secondes, atteignant la limite de détection au niveau d'un ppt unique (Parties par trillion).
Surveillance en temps réel et réponse rapide
Mesure spectrale de l'ordre de la milliseconde versus Réponse de l'instrument de l'ordre de la seconde: le système est capable d'effectuer des mesures spectrales en milliseconde et de répondre aux variations de concentration de l'ordre de la seconde, ce qui est adapté pour capturer les fluctuations instantanées de l'AMC et répondre aux exigences rigoureuses de la fabrication de semi - conducteurs en termes de temps réel.
Stabilité de fonctionnement ininterrompue 24 heures sur 24: grâce à des capteurs de haute précision et à des algorithmes avancés, les données pour un fonctionnement à long terme dans des environnements de processus complexes sont stables et fiables, ce qui évite les problèmes d'inefficacité des modes d'échantillonnage artificiels.
Capacité de détection synchrone Multi - gaz
Capacité d'analyse multicomposants: des dizaines de CMA peuvent être surveillées simultanément pour les gaz acides (par exemple HCl, h₂so₄), les gaz alcalins (par exemple nh₃), les composés organiques volatils (COV), etc., couvrant des substances de propriétés chimiques et de volatilité différentes, évitant les limitations des techniques traditionnelles nécessitant plusieurs détections.
Automatisation et intégration de l'ensemble du processus: de l'échantillonnage, de la concentration à l'analyse et au stockage, automatisez les opérations tout au long du processus, réduisez l'intervention humaine et améliorez l'efficacité de la détection.
Analyse intelligente des données et gestion en boucle fermée
Prise en charge de l'IA et du Big Data: les gestionnaires d'assistance optimisent les processus et les stratégies de gestion en exploitant en profondeur des données massives pour générer automatiquement des cartes des tendances de la pollution et des rapports de suivi des sources de pollution.
Surveillance à distance et alerte de seuil: le système dispose d'une fonction de surveillance à distance qui informe instantanément sur les anomalies, évite la perte de rentabilité et forme une gestion en boucle fermée de « surveillance - analyse - gouvernance - vérification» qui optimise en permanence l'environnement de production.
Conception anti - interférence et adaptabilité environnementale
Simulation de fluide professionnelle et systèmes d'admission d'air: réduire l'instabilité causée par le flux d'air et assurer une large plage dynamique de mesure pour les environnements avec de grandes variations de vibrations, de température, d'humidité, etc.
Système de vide de pompe non mécanique: éliminez les Composants rotatifs à grande vitesse, résolvez le problème de l'incapacité de détecter le fonctionnement dans les vibrations multidimensionnelles massives et améliorez l'applicabilité environnementale.