Le four tubulaire sous vide est un type d'équipement pour le traitement thermique des matériaux sous vide ou atmosphère protectrice, largement utilisé dans les semi - conducteurs, les nouvelles sources d'énergie, la recherche et le développement de nouveaux matériaux, le frittage des métaux et d'autres domaines. Sa sélection doit tenir compte de nombreux facteurs tels que les paramètres techniques, la stabilité des performances, la sécurité et le rapport qualité - prix. Les exigences d'achat pour les fours tubulaires sous vide sont détaillées ci - dessous du point de vue des composants de base, des exigences fonctionnelles, des performances de sécurité, etc.

Structure et matériaux du four

1. Diamètre et longueur du tube

- le diamètre du tube du four est choisi en fonction de la taille de l'échantillon (spécification commune φ20 - φ100mm), une marge d'espace d'au moins 20% doit être réservée pour faciliter le chargement et l'écoulement du gaz.

- la longueur de la zone de chauffage doit couvrir les besoins de chauffage de l'échantillon, le modèle régulier est 200 - 600mm, les besoins spéciaux peuvent être personnalisés.

2. Matériel de tube de four

- tube de quartz: résistance à haute température (jusqu'à 1100 ℃), bonne transmission de la lumière, convient aux atmosphères non corrosives (telles que le vide, les gaz inertes), mais grande fragilité, mauvaise stabilité sismique thermique.

- tube de corindon (alumine): plus résistant à la température (jusqu'à 1600 ° c), résistant aux chocs thermiques, adapté aux métaux vifs ou aux atmosphères corrosives, mais à long terme avec une déformation cristalline facile.

- tubes en acier inoxydable: convient pour les basses températures (< 1000 ℃) ou les atmosphères contenant de l'hydrogène, à faible coût mais moins résistant aux températures élevées et à la corrosion.

3. Élément chauffant

- chauffage par fil résistif (par exemple, fil de molybdène, tige de silicone - molybdène): convient aux températures moyennes et élevées (< 1700 ℃), haute précision du contrôle de la température, mais le fil de molybdène est facile à fragiliser dans l'hydrogène.

- chauffage par induction: la vitesse de réchauffement est rapide et convient aux processus à haute température et à court terme, mais le coût de l'équipement est élevé.

- chauffage par rayonnement infrarouge: pas de contamination par contact, mais mauvaise uniformité de la température, nécessaire pour accompagner la conception du capot réfléchissant.

II. Système de vide et contrôle d'atmosphère

1. Exigences de degré de vide

- type de base: pompe mécanique + combinaison de pompe moléculaire, le degré de vide peut atteindre 10 ⁻³ ~ 10 ⁻pa, pour répondre aux besoins de frittage de la plupart des matériaux.

- type à vide élevé: nécessite la configuration de la pompe turbomoléculaire ou de la pompe ionique, le degré de vide jusqu'à 10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ PA, convient aux processus de haute précision tels que la croissance épitaxiale de semi - conducteurs.

2. Compatibilité atmosphérique

- préciser le type d'atmosphère nécessaire au processus (par exemple ar, n₂, h₂, mélange), choisir la structure d'étanchéité et le système d'admission d'air correspondants.

- en cas de gaz corrosifs (par exemple cl₂, nh₃), un matériau résistant à la corrosion (par exemple revêtement en quartz + cavité extérieure en acier inoxydable) doit être utilisé et un dispositif de traitement des gaz d'échappement doit être configuré.

3. Contrôle de la route de gaz

- le régulateur de Débit massique (MFC) permet une régulation précise du débit d'air et convient aux scénarios de mélange de gaz multiplex ou de commutation dynamique.

- soupape de surpression de sécurité et capteur de pression pour prévenir le risque d'explosion de surpression.

Iii. Contrôle de la température et uniformité

1. Méthode de contrôle de la température

- PID contrôle intelligent de la température: rétroaction de la température en temps réel par thermocouple (type K, type s), précision de contrôle de la température ± 1 ~ 2 ℃, convient à la plupart des expériences.

- contrôle de la température par programme multi - segments: prend en charge la programmation de courbes de réchauffement / isolation / refroidissement de plus de 30 segments pour répondre aux besoins de processus complexes (tels que le frittage à gradient).

- thermométrie infrarouge ou pyromètre optique: thermométrie sans contact, adaptée aux températures élevées ou aux environnements corrosifs, mais à un coût élevé.

2. Uniformité de la température

- la différence de température de la zone de chauffage doit être contrôlée à ± 5 ℃, ce qui peut être réalisé par un corps de chauffage à double couche, un conduit d'air homotherme ou une conception de tube de four rotatif.

- calibrer régulièrement la position du thermocouple pour éviter les erreurs de thermométrie dues au décalage du thermocouple.

Iv. Performance de sécurité et fonctions auxiliaires

1. Protection de sécurité

- protection contre les surchauffes: un thermomètre indépendant surveille la température du four et s'éteint automatiquement après le déclenchement.

- protection contre les défaillances du vide: lorsque l'espace réel est inférieur à la valeur de consigne, le gaz de protection est automatiquement chargé et arrêté.

- conception antidéflagrante: le corps du four doit être équipé d'un orifice de décharge ou d'une membrane antidéflagrante pour empêcher l'expansion instantanée du gaz de déclencher une explosion.

2. Observation et facilité de fonctionnement

- fenêtre d'observation de quartz: il est facile d'observer l'état de l'échantillon en temps réel, il est nécessaire de traiter le revêtement de rayonnement à haute température.

- Écran tactile + interface homme - machine (IHM): configuration simplifiée des paramètres et stockage du programme, prise en charge du contrôle à distance.

3 enregistrement et exportation de données

- enregistreur intégré ou interface USB pour enregistrer des données telles que la température, la pression, le débit en temps réel pour une analyse ultérieure facile.

V. qualification des fournisseurs et service après - vente

1. Marque et cas

- donner la priorité aux marques ayant une expérience dans le secteur (carbolite, thermal technology, Hefei Corinthia, etc.) en examinant le bouche - à - oreille des utilisateurs de leurs produits similaires.

- demander des rapports sur des cas de réussite, en particulier des exemples d'applications pour des scénarios de processus similaires.

2. 定制能力

- les besoins spéciaux (par exemple, températures ultra élevées, tubes de four de grande taille, refroidissement rapide) nécessitent une évaluation des capacités de conception non standard du fournisseur.

- confirmez le délai d'exécution et la garantie (généralement 1 an de garantie pour les composants de base).

3. Support après - vente

- si la formation à l'installation, les instructions de mise en service des processus et les services d'entretien à vie sont disponibles.

- le cycle d'approvisionnement et le prix des pièces de rechange doivent être clairs pour éviter les coûts excessifs d'utilisation ultérieure.