Dispositif d'écriture directe laser 3D connecté par puceGrâce à la technologie de polymérisation Multiphoton (MPP), l'usinage tridimensionnel réel de structures de surface libre à l'échelle submicronique fournit une plate - forme de fabrication importante pour l'intégration hybride de puces optiques au silicium, de boucles photoniques au Niobate de lithium et d'optiques quantiques.
Caractéristiques principales:
Module d'usinage ultra - rapide pour une grande efficacité d'usinage
Usinage 3D de haute précision, usinage de conception de surface libre arbitraire de structures complexes
Système de détection confocale et fluorescente pour une identification et un alignement de position de haute précision
Système automatique de positionnement d'alignement 3D pour la précision nanométrique
Imagerie et mesure microscopiques HD en temps réel, usinage et détection de systèmes de coordonnées globaux
Système de stabilisation de l'énergie laser pour garantir la cohérence du traitement à long terme
Table d'échantillon d'adsorption sous vide, adaptée à divers matériaux de base
Pinces spéciales pour fibres optiques, réseaux de fibres optiques et puces photoniques
Compensation automatique de puissance laser pour éliminer l'impact des défauts d'usinage des surfaces d'extrémité
Détection et nivellement automatique de l'inclinaison du substrat
Programmation visuelle, processus d'usinage personnalisés
Cycle de maintenance des composants clés:
Femtoseconde laser: détection de la stabilité de la puissance de sortie, mensuelle, étalonnage du compteur de puissance;
Système de miroir vibrant: plage de balayage avec étalonnage secondaire, semi - annuel, étalonnage 140 × 140 μm²;
Système de contrôle de la température: étalonnage de la source de rayonnement du Corps noir du capteur, trimestriel, précision de ± 0,1 ℃;
Module de réfrigération: contrôle de la pression du réfrigérant et de l'étanchéité des lignes, hebdomadaire (azote liquide), lecture du manomètre.
Processus de maintenance quotidienne:
Nettoyage du système optique:
Utilisez un chiffon sans poussière trempé dans de l'éthanol anhydre pour essuyer les miroirs de protection, les miroirs vibrants et les fenêtres laser et éviter de rayer le revêtement.
Lorsque vous remplacez le miroir de protection, vous devez sceller la buse pour empêcher la poussière d'entrer dans le système de chemin optique.
Calibration de la plate - forme de mouvement:
La précision de positionnement répétée (± 10 nm) de la table en céramique piézoélectrique tridimensionnelle est vérifiée trimestriellement par une feuille d'étalonnage standard.
La lubrification du rail nécessite l'utilisation d'un lubrifiant nanométrique spécial pour éviter que les particules n'affectent la précision du mouvement.