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Nanjing Ruinike Technology Development Co., Ltd
Découvrir le cœur du traitement des gaz de haute pureté: les bouteilles de purge PFA jouent un rôle clé dans la purification des gaz spéciaux semi - conducteurs
Date :2026-04-09Lire :3
Dans l'industrie des semi - conducteurs,L'une des applications les plus centrales des bouteilles de purge PFA estDétection de traces d'impuretés dans les gaz spéciaux d'électrons. Par exemple, en utilisant"Absorption de gaz - chromatographie ionique" lors de la détection des ions fluor (f⁻) et des ions ammonium (nh₄) dans des gaz de haute pureté tels que la phosphine, le chlore, etc., la bouteille d'absorption PFA estDispositif de capture clé.
Un ensemble complet de niveaux semi - conducteursUnité de purge de bouteilles PFA, pas seulement un corps de bouteille unique, mais un système intégré. Ses principales composantes sont:
composant |
Rôle clé et spécifications |
Flacon de réaction PFA |
Récipient de base pour contenir le liquide absorbant ou effectuer la réaction. Spécifications: commun15ml, 30ml, 60ml, 120ml, etc., support personnalisé à la demande- Oui. |
Lignes et raccords PFA |
Connectez la source de gaz et le corps de la bouteille pour construire un circuit de gaz complet. Spécifications standard: multiTube PFA de 1 / 4 de pouce avec valve à deux et trois voies en matériau PFA, résistant à la pression et à la corrosion. |
Bouchon de bouteille scellé |
Garantir l'étanchéité du système à l'air, prévenir les fuites de gaz et la pollution extérieure. Matériau :PFA， Aucun contact avec le fluide. |
Options de personnalisation du système |
Du flacon unique au multicanal en parallèle, adapté aux besoins d'expérimentation ou de production à différentes échelles. Configurations communes:Unité de série de 4 bits, 6 bits, peut augmenter considérablement l'efficacité. |
Avantages des matériaux: pourquoi ils doivent êtrePFA ?
Dans la fabrication de semi - conducteurs, le choixLe PFA, plutôt que le plastique ou le verre ordinaire, est déterminé par ses propriétés physico - chimiques irremplaçables:
Inertie chimique et bas fond:Le matériau PFA est pratiquement insoluble dans les acides forts et les alcalis forts (y compris l'eau royale,HF), et la valeur vide de l'élément métalliqueFaiblePeut éviter la contamination croisée à la racine et assurer l'authenticité des résultats d'analyse des traces.
Large plage de température de fonctionnement:PFA maintient une morphologie physique et des propriétés chimiques stables dans l'intervalle de température de - 200 ℃ à + 260 ℃, processus facile à gérerConditions- Oui.
Conception optimisée pour « long in Short Out »: le tuyau d’admission dans la bouteille (Long tube) va directement au fond de la bouteille pour assurer un contact suffisant du gaz avec le liquide absorbant; La trachée de sortie (tube court) est située à l'embouchure de la bouteille et évacue efficacement le gaz après la réaction. Cette conception améliore considérablement l'efficacité de lavage et d'absorption.
Domaines d'application clés
Semi - conducteurs, gaz spéciaux électroniques, pétrochimie, nouvelles énergies、Surveillance des salles blanches semi - conductrices, surveillance des gaz, collecte des polluants
