Phénomène: la sonde ne peut pas atteindre avec précision le point de test de la plaquette ou de la puce, ce qui entraîne des anomalies dans les données de test.

1. Inspection de la structure mécanique (5 minutes)

Axes X / y / z desserrés:

Vérifiez que les vis de blocage du comptoir de la sonde ou du bras de la sonde sont desserrées.

Après avoir fixé la vis, tester la précision de positionnement répétée du comptoir avec un compteur kilométrique.

Blocage du rail de guidage:

Nettoyez les guides et appliquez une petite quantité de graisse.

Poussez le comptoir manuellement pour vérifier s'il y a un Katun ou un allophone.

2. Calibration du système optique (10 minutes)

Décalage de mise au point du Microscope:

Ajustez la hauteur de l'objectif du microscope pour vous assurer que la surface de la plaquette est clairement imagée.

La précision de la mise au point est vérifiée à l'aide d'une feuille d'étalonnage, telle qu'une grille métallique de 10 µm de largeur de ligne.

Décalage de la caméra CCD:

Exécutez la fonction "Calibration de la caméra" dans le logiciel pour réaligner le système de coordonnées de la sonde avec l'imagerie.

Vérifiez que le câble de connexion de la caméra est desserré.

3. Réinitialisation des paramètres du logiciel (5 minutes)

Système de coordonnées confus:

Redéfinissez l'origine en cliquant sur "Reset Coordinate System" dans le logiciel de contrôle.

Vérifiez que la "valeur de compensation de sonde" dans le logiciel n'a pas été modifiée par erreur.

Défaillance de la carte de contrôle de mouvement:

Redémarrez la carte de contrôle de mouvement (attendez 1 minute après l'arrêt de l'alimentation avant de l'allumer).

Mettre à jour le firmware à la dernière version.

Mauvais contact: diagnostic et réparation rapides

Phénomène: le contact de la sonde avec le point de test est instable, ce qui entraîne des fluctuations de la valeur de la résistance ou un circuit ouvert.

1. Vérification de l'état de la sonde (5 minutes)

Usure de la sonde:

Observez la pointe de la sonde au microscope pour vérifier s'il y a eu flexion, oxydation ou usure.

Remplacez les sondes usées (comme celles qui utilisent de l'acier au tungstène ou du cuivre au béryllium).

Déformation de la carte sonde:

Vérifiez que la carte de la sonde est pliée, la déformation de plus de 0,1 mm doit être remplacée.

Nettoyer la carte de sonde.

2. Ajustement de la pression de contact (10 minutes)

Trop / trop peu de pression:

La force de contact de la sonde est mesurée à l'aide d'un testeur de pression, la valeur standard est de 2 à 5 G.

Ajustez la tension du ressort du bras de la sonde (rotation dans le sens horaire augmente la pression et diminue dans le sens antihoraire).

Les comptoirs ne sont pas:

Vérifiez si le comptoir est horizontal avec un niveau.

Ajustez les vis de support sous le comptoir.

3. Exclusion des perturbations environnementales (5 minutes)

Effets électrostatiques:

Vérifiez que le fil de terre est bien connecté.

Neutralisez l'électricité statique à l'aide d'un ventilateur ionique.

Perturbation des vibrations:

Déplacez la table de sonde dans la zone sans vibration.

Placez un tapis antivibratoire sous le comptoir.

Flou d'image: optimisation et réparation rapides

Phénomène: l'imagerie microscopique ou par caméra n'est pas claire, ce qui affecte la précision du positionnement de la sonde.

1. Nettoyage des composants optiques (5 minutes)

Pollution des objectifs:

Soufflez la poussière de la surface de l'objectif avec un ballon soufflant et essuyez avec un coton - tige trempé dans une petite quantité de liquide de nettoyage optique.

Vérifiez que l'objectif est lâche.

Atténuation de la source lumineuse:

Ajustez la luminosité de la source lumineuse et Remplacez les ampoules vieillissantes.

Vérifiez que le cordon de connexion de la source lumineuse est desserré.

2. Réglage des paramètres d'imagerie (10 minutes)

Mise au point inexacte:

Tournez manuellement le bouton de mise au point du microscope jusqu'à ce que l'image soit la plus nette.

Activez la fonction "autofocus" dans le logiciel.

Manque de contraste:

Ajustez le gain de la caméra et le temps d'exposition.

Utilisez des lames polarisantes pour réduire la réflexion.

3. Synergie logiciel - matériel (5 minutes)

Défaillance de la carte de traitement d'image:

Redémarrez la carte de traitement d'image (attendez 1 minute après la mise hors tension).

Mettre à jour les pilotes vers la dernière version.

La résolution de la caméra ne correspond pas:

Réglez la résolution de la caméra dans le logiciel, conformément aux paramètres matériels.

Vérifiez que la fréquence d'images de la caméra est trop basse.

Iv. Inspection intégrée et prévention

1. Liste de maintenance quotidienne

Nettoyer la surface de la table de sonde (essuyer avec un chiffon sans poussière).

Vérifier l'état de la sonde (observation de la pointe de l'aiguille au microscope).

Exécutez le Programme d'auto - test.

2. Prévention des défaillances communes

Usure de la sonde: changez la sonde tous les 5000 tests.

Mauvais contact: nettoyez régulièrement la carte sonde (1 fois par mois).

Flou d'image: calibrer les optiques (y compris les objectifs et les caméras) chaque trimestre.

3. Traitement des urgences

Rupture de la sonde: Arrêtez immédiatement le test, retirez la sonde cassée avec une pince à épiler et remplacez - la par une nouvelle.

Plan de travail coincé mort: couper l'alimentation et libérer manuellement le dispositif de verrouillage du rail de guidage (comme le bouton de libération d'urgence sur le côté).

Crash logiciel: redémarrez le PC de force (maintenez la touche d'alimentation enfoncée pendant 5 secondes), Restaurez le profil de sauvegarde.

Résumé: les défauts de positionnement de la table de sonde, de mauvais contact et d'imagerie floue peuvent être résolus en 30 minutes en résolvant les problèmes mécaniques, électriques, optiques et logiciels par étapes. Un entretien régulier et des inspections préventives réduisent considérablement le taux de défaillance et garantissent la stabilité des tests.