Dans la fabrication de semi - conducteurs, l'aérospatiale, l'instrumentation de précision et d'autres domaines, la table de déplacement à vide haute vérité en tant que composant principal d'exécution de mouvement, sa précision de mouvement détermine directement la fiabilité de l'expérimentation et de la production. Les particularités de l'environnement à vide élevé (faible pression d'air, absence de lubrification, exigences élevées en matière de stabilité de la température) rendent difficile l'application des méthodes conventionnelles d'étalonnage de la table de déplacement, il est donc essentiel d'établir un système d'étalonnage de précision scientifiquement efficace.
L'étalonnage de précision de mouvement de la table de déplacement à vide haute vérité nécessite la mise au point d'indicateurs de base, notamment la précision de positionnement, la précision de positionnement répétitif, le jeu inverse et la rectitude de mouvement. La précision de positionnement fait référence à l'écart de la position de mouvement réelle par rapport à la position de commande et est un paramètre central pour mesurer les performances de la table de déplacement; La précision de positionnement répétitif reflète la cohérence de plusieurs mouvements au même endroit, affectant directement la répétabilité des données expérimentales; Le jeu inverse est alors une erreur de course à vide lors de la commutation du sens du Mouvement, ce qui entraîne facilement un retard de positionnement; La rectitude du mouvement assure le bon fonctionnement de la table de déplacement le long d'une trajectoire prédéfinie, évitant les décalages d'attitude.
Parmi les méthodes d'étalonnage couramment utilisées, la méthode d'étalonnage de l'interféromètre laser est le courant dominant de l'industrie. La méthode utilise la haute cohérence du laser pour calculer le déplacement réel en mesurant la différence de trajet optique du laser avant et après le mouvement de la table de déplacement, ce qui permet une détection de précision à l'échelle nanométrique. Dans l'environnement de vide élevé, il est nécessaire de choisir un interféromètre laser adapté au vide, équipé d'un composant optique scellé, pour éviter l'influence du degré de vide sur la transmission laser, tout en corrigeant l'erreur causée par les fluctuations de température ambiante par l'algorithme de compensation de température. Pendant le processus d'étalonnage, la table de déplacement doit être déplacée point par point selon un pas prédéfini, l'écart de mesure de chaque position est enregistré et la courbe d'erreur de précision est finalement générée.
La méthode d'étalonnage du capteur de déplacement capacitif s'applique aux tables de déplacement à haut vide à courte course. Le principe est de convertir la quantité déplacée en détectant les variations de capacité entre la table de déplacement et la plaque du capteur, avec l'avantage d'une vitesse de réponse rapide et d'une forte résistance aux interférences électromagnétiques. L'étalonnage de l'environnement sous vide du capteur doit être effectué avant l'étalonnage, ce qui élimine l'influence du milieu sous vide sur la détection Capacitive, tout en veillant à ce que la face d'installation du capteur soit perpendiculaire à la direction de déplacement de la table, réduisant ainsi l'erreur d'installation. La méthode est facile à utiliser et convient à un étalonnage rapide sur le terrain, mais la plage de mesure est relativement limitée et est généralement utilisée pour les tables de déplacement avec des courses inférieures à 100 mm.
En outre, la méthode d'étalonnage assistée par microscopie à force atomique permet une vérification de très haute précision. En utilisant les capacités de positionnement à l'échelle nanométrique de la microscopie à force atomique comme référence standard, contrastant les trajectoires de mouvement de la table de déplacement, il convient à la recherche de pointe avec des exigences élevées de précision.
Le processus d'étalonnage doit prêter attention au contrôle de l'environnement pour s'assurer que les fluctuations de température dans la cavité à vide sont inférieures à ± 0,1 ℃, afin d'éviter les perturbations du flux d'air; Dans le même temps, l'équipement d'étalonnage fait l'objet d'une vérification régulière de la traçabilité, ce qui garantit la précision des étalons de mesure. Grâce à la sélection scientifique de la méthode d'étalonnage et au contrôle strict des conditions expérimentales, il est possible de garantir efficacement la précision du Mouvement de la table de déplacement à vide réel, afin de fournir un soutien fiable aux travaux de fabrication et de recherche scientifique.