Les fuites de vide sont le problème central affectant la stabilité de la machine de nettoyage à plasma, dont le positionnement doit être jugé en combinaison avec la méthode de détection et les caractéristiques de l'équipement:

Méthode de détection de fuite par spectrométrie de masse à l'hélium

Convient aux systèmes à vide élevé (tels que les cavités de pompe moléculaire), en chargeant la cavité avec 0,1 MPa d'hélium, en balayant l'interface de bride, la fenêtre d'observation, l'électrovanne de circuit d'air et d'autres sites avec le détecteur de fuite. Si une fuite d'hélium est détectée, il est nécessaire de fixer les boulons ou de remplacer les joints toriques en caoutchouc fluoré (tels que les joints de pompe à vide Pfeiffer). Par exemple, un certain équipement en raison du vieillissement de la bague d'étanchéité de la porte d'isolement de la Chambre de pré - vide, ce qui entraîne un degré de vide ne peut pas atteindre 1 × 10 ⁻³pa, après le remplacement est restauré.

Test d'atténuation de pression

Convient pour les systèmes à vide faible et moyen (par exemple, les cavités de pompe mécanique), enregistrez une appréciation de la pression en 1 heure après l'arrêt de la pompe à vide. Si le taux de levage est & gt; 0,5 Pa / h, il est nécessaire de vérifier l'étalonnage du tube de vide ou la contamination de la paroi de la cavité. Dans un certain cas, en raison de l'adsorption de la matière organique dans la paroi interne de la cavité, la vitesse de montée en pression est tombée à 0,2 PA / h après le nettoyage au plasma.

Méthode d'analyse du signal vibratoire

Localisez le point de fuite en acquérant le signal de vibration pendant le fonctionnement de la pompe à vide, décomposé en différentes composantes de fréquence. Par exemple, un certain équipement produit un signal de vibration de 120 Hz en raison du desserrage du tube de connexion de la vanne à vide, après la fixation, les fuites sont éliminées.

II. Analyse des causes de l'échec de l'allumage au plasma

Les échecs d'allumage au plasma sont généralement causés par des anomalies de l'alimentation, du circuit d'air ou du système d'adaptation, qui doivent être vérifiées selon la logique suivante:

Panne d'alimentation RF

Aucune puissance de sortie: Testez la source RF avec une charge fictive de 50 Ω, si l'indication de puissance est nulle, vous devez réparer le module RF (par exemple, remplacer le tube IGBT); Si l'indication est normale, vérifiez que le câble RF n'est pas en court - circuit ou contaminé par la cavité.

Puissance réfléchie excessive: ajustez la position de la lame Capacitive du réseau adapté de sorte que la puissance réfléchie < 5% de la puissance incidente. Dans un cas, en raison du décalage de la position initiale de la capacité de l'adaptateur, ce qui entraîne une puissance réfléchie allant jusqu'à 30%, l'allumage est réussi après le recalibrage.

Anomalies du système de voie d'air

Pression d'air insuffisante: vérifiez si la pression de la source d'air est comprise entre 0,4 et 0,6 MPa, ajustez la vanne de décompression pour que la valeur affichée par le débitmètre corresponde aux exigences du processus. Par exemple, un appareil est trop faible (0,2 MPa) en raison de la pression de gaz ar, ce qui rend le plasma insoutenable, puis ajusté pour récupérer.

Blocage des voies d'air: démontez le disque de pulvérisation de gaz, Purgez les orifices avec de l'air comprimé et éliminez les résidus de polymère. Dans un certain cas, en raison du blocage du trou de pulvérisation conduit à une distribution inégale du gaz, après le nettoyage, la stabilité de l'allumage est améliorée.

Électrodes et système d'adaptation

Contamination de l'électrode: poncer la couche d'oxyde superficielle de l'électrode supérieure avec du papier sablé ou remplacer une nouvelle électrode (par exemple, la durée de vie de l'électrode du substrat en aluminium est d'environ 2000 heures).

Défaut d'amorçage d'arc à haute fréquence: Vérifiez l'espacement des barres de décharge d'étincelle (valeur standard de 0,5 mm), si l'espacement est trop grand à ajuster; Si l'ablation de la barre doit être remplacée (par exemple, un certain équipement en raison de l'espacement des barres jusqu'à 1 mm, ce qui entraîne une fréquence élevée ne peut pas initier l'arc, après ajustement pour récupérer).

Iii. Cas de diagnostic intégré

Une certaine machine de nettoyage à plasma sous vide apparaît "pas de sortie de plasma" alarme, après inspection a trouvé:

Fuite sous vide: le test d'atténuation de la pression montre un taux de montée de 0,8 PA / h, le détecteur de fuite d'hélium est positionné sur le vieillissement de la bague d'étanchéité de la bride de la pompe moléculaire, le degré de vide est restauré après le remplacement.

Anomalie d'adaptation RF: puissance réfléchie jusqu'à 15%, réduite à 3% après ajustement de la lame de capacité réseau adaptée.

Contamination de l'électrode: la surface supérieure de l'électrode est recouverte d'un polymère noir et la densité du plasma augmente de 40% après ponçage avec du papier abrasif.

Grâce à une inspection systématique, l'appareil a repris un fonctionnement stable, validant l'efficacité de la stratégie de diagnostic tridimensionnel « vide - alimentation - Gaz».