En tant qu'infrastructure de base pour les expériences de précision, les spécifications de conception et les indicateurs de performance du banc d'essai de salle blanche doivent suivre strictement le double standard de la science et de l'ingénierie, qui se développe en profondeur à partir de quatre dimensions: structure, matériaux, contrôle environnemental et vérification des performances:
I. spécifications de conception structurelle
Conception modulaire et porteuse
Le banc d'essai doit être en bois d'acier ou tout le cadre de structure en acier, le cadre principal doit être choisi en acier carré 40mm × 60mm (épaisseur de paroi ≥ 2mm), fixé par des vis de fixation cachées, pour assurer une charge ≥ 280kg. Le comptoir doit être conçu avec une structure à deux couches de bords épais (épaisseur apparente 26mm), le traitement des coins arrondis pour éviter la concentration de contraintes, par exemple, le comptoir de plaque physico - chimique à noyau solide weisheng Sub noir peut résister à la corrosion acide forte et alcaline forte.
Système d'isolation par Vibration
Pour les équipements sensibles aux vibrations tels que la microscopie à force atomique (AFM), le banc d'essai doit intégrer une base active d'isolation vibratoire, une fréquence inhérente ≤ 5 Hz, une redondance de charge selon le poids de l'équipement 1,2 fois conçu. Entre la base et le plancher de construction, vous devez réserver une couture d'isolation de 50 à 100 mm, remplie de matériau élastique pour couper la transmission des vibrations à basse fréquence.
II. Matériaux et traitement de surface
Résistance à la corrosion et facilité de nettoyage
Les matériaux de comptoir doivent passer la norme iso20307: 2017, choisir une résine époxy ou un panneau résistant aux acides et aux alcalis, la rugosité de surface ra ≤ 0,8 μm pour réduire l'adsorption des particules. Les pièces de structure en acier doivent être peintes avec de la poudre de résine époxy après phosphatation par décapage, épaisseur ≥ 80 μm, pour s'assurer qu'il n'y a pas de chute de couche de pulvérisation, de bullage et d'autres défauts.
Conception étanche et antistatique
Toutes les coutures doivent être scellées avec du silicone pour empêcher les fuites d'air de gâcher la pureté. Le sol utilise le PVC antistatique (résistivité ≥ 18mΩ.cm), associé à une électrode de terre indépendante (résistance < 1Ω) pour éliminer les interférences électromagnétiques.
Iii. Indicateurs de base du contrôle environnemental
Pureté de l'air
La zone de travail du banc d'essai doit être conforme à la norme iso5 (classe centile), avec un nombre de particules de poussière ≥ 0,5 μm ≤ 3520 / m³ et un nombre de particules ≥ 5 μm ≤ 29 / m³. Avec une couverture complète FFU (Fan Filter Unit) et un filtre ulpa (efficacité de filtration ≥ 999995%) pour une purification de flux unidirectionnelle.
Contrôle de la température, de l'humidité et de la pression différentielle
La climatisation de précision doit atteindre la précision de contrôle de la température ± 0,5 ℃, le contrôle de l'humidité ± 5% RH scénarios (tels que la lithographie à semi - conducteur) doivent être associés à un déshumidificateur de roue tournante (humidité ≤ 10% RH). Chambre propre et pression extérieure différentielle > 10pa, différence de pression entre différents niveaux de nettoyage > 5pa, réglage automatique par vanne de pression résiduelle.
Iv. Vérification des performances et base des normes
Normes de détection
Selon JG / t292 - 2010 "banc propre" et yy / t1539 - 2017 "banc propre médical", il est nécessaire de tester la détection de fuite, l'uniformité de la vitesse du vent (0,3 - 0,6 m / s), le bruit (≤ 65 DB), l'éclairement (≥ 300 LX) et L'amplitude de vibration (équipement AFM ≤ 50 nm).
Vérification de la stabilité à long terme
En fonctionnement continu pendant 72 heures, surveillez la plage de fluctuation de la température et de l'humidité, le taux d'atténuation de la propreté et les variations de la valeur des vibrations pour assurer la conformité avec les indicateurs de conception. Par exemple, le nombre de particules de 0,5 μm n'augmente que de 3,2% en 72 heures à pleine charge, ce qui est bien inférieur à la limite standard.
V. adaptation des scénarios d'application
Domaine des semi - conducteurs: la configuration de la base flottante (fréquence intrinsèque < 3 Hz) et du système d'eau Ultrapure (résistivité ≥ 18 mΩ.cm) est requise pour répondre aux exigences strictes du processus de lithographie en matière de vibrations et de particules.
Domaine biomédical: lampe germicide UV intégrée (longueur d'onde 254 nm, intensité de rayonnement ≥ 90 μw / cm²) et système de détection des bactéries sédimentantes pour assurer un environnement de fonctionnement stérile.
Domaine de la science des matériaux: utilisation de comptoirs à haute température (résistance à la température ≥ 300 ℃) et de lignes de gaz Anticorrosion (matériau PVDF), adaptés aux conditions expérimentales.
La conception du banc d'essai de salle blanche est l'ingénierie du système de « contrôle de structure - matériau - environnement», qui doit optimiser le chemin de transmission des vibrations par l'analyse par éléments finis, combinée avec un compteur de particules, un vibrateur et d'autres équipements pour la surveillance en temps réel, pour finalement atteindre l'équilibre de la pureté, de la stabilité et de la fonctionnalité.