Programme expérimental

● échantillon d'essai: échantillon de photolithographie liquide 1pcs

● instrument de test: tga8000 - Frontier - clarus690 / sq8t, le module de couplage est le modèle TL9000. Tous les instruments et modules associés proviennent de Perkin Elmer;

● Conditions d'essai:

Méthode de pesage et dosage de l'échantillon: l'échantillon de liquide visqueux est prélevé à l'aide d'un pistolet à pipette de 10 μl, 3 fois par essai et placé dans un creuset céramique. En raison de la grande viscosité de l'échantillon, le volume d'échantillonnage réel est inférieur à 30 μl et la masse réelle de l'échantillon est déterminée par le poids thermique.