Dans les domaines industriels avancés tels que la fabrication de semi - conducteurs, l'emballage optoélectronique, les tests de précision, etc., la précision et la portée du contrôle de la température ont un impact direct sur la performance et la performance des produits.Le dispositif de contrôle de la température à semi - conducteurs Chiller, en tant qu'équipement de contrôle de la température de base, est capable d'atteindre une capacité de contrôle de la température extrême de refroidissement direct à partir d'une température élevée de 300 ℃ à - 150 ℃, offrant une solution de contrôle de la température stable et précise pour les processus de semi - conducteurs, les tests de matériaux, les expériences d'impact à haute et basse température, etc.

　　I. technologie de base des dispositifs de contrôle de la température à semi - conducteurs CHILLER

Chiller (système de circulation de réfrigération) utilise la réfrigération du compresseur + l'échange de chaleur du liquide de circulation pour atteindre une précision de contrôle de la température de montée et de descente rapide et douce ± 0,1 ℃ grâce à un algorithme de contrôle de la température de haute précision. Ses principaux avantages comprennent:

　　1. Couverture de domaine de température large (- 150 ℃ ~ 300 ℃)

① section à haute température (300 ℃): convient au recuit de semi - conducteur, au frittage de matériaux et à d'autres processus à haute température, par circulation d'huile conductrice de chaleur ou de solution aqueuse d'éthylène glycol pour assurer la stabilité à haute température.

② section basse température (- 150 ℃): adoptez la technologie de réfrigération de superposition, ou la réfrigération de type à refroidissement direct (évaporation directe du réfrigérant et échange de chaleur), pour réaliser l'environnement ultra - basse température, pour répondre aux besoins de test à basse température des puces semi - conductrices, de fabrication de détecteurs infrarouges, etc.

　　2. Capacité de changement de température rapide

① une partie de l'équipement Chiller peut effectuer un changement de température de - 55 ℃ ~ 150 ℃ en 10 secondes, adapté aux tests de fiabilité des puces, à l'analyse de contrainte thermique des matériaux et à d'autres scénarios.

② avec compresseur à fréquence variable + valve d'expansion électronique, la capacité de refroidissement est régulée dynamiquement pour assurer la vitesse de réponse du contrôle de la température.

　　3. Contrôle de température de haute précision (0,5 ℃)

① la fabrication de semi - conducteurs nécessite une précision de contrôle de la température de ± 0,1 ℃, Chiller assure la stabilité du processus grâce à l'algorithme de contrôle PID + pt100 / capteur de thermocouple rétroaction en temps réel.

② une partie de l'équipement prend en charge le contrôle indépendant de la température à plusieurs canaux, peut contrôler la température de différentes cavités de processus en même temps, sans interférence mutuelle.

　　II. Scénarios d'application typiques

　　1. Fabrication de semi - conducteurs

① machine de lithographie: contrôle de la source lumineuse et de la température de l'objectif (± 0,05 ℃) pour éviter la déformation thermique affectant la précision de l'exposition.

② gravure / dépôt: ajustez la température de la cavité de réaction pour assurer l'uniformité du film.

③ test de la puce: simule un environnement de domaine de température large de - 40 ℃ ~ 150 ℃, vérifie la fiabilité de la puce.

　　2. Optoélectronique et dispositifs de précision

① laser, fibre optique: essai cyclique à haute et basse température pour assurer la stabilité du matériau.

② 3D Packaging: contrôle de la température de reflux de l'étain de soudure, optimisation de la qualité de la soudure.

3. Science des matériaux

① matériaux supraconducteurs, dispositifs quantiques: - 150 ℃ ~ 300 ℃ contrôle de la température, étudier les changements de performance des matériaux à différentes températures.

　　Iii. Tendances futures du développement

Alors que le processus de semi - conducteurs évolue vers un processus plus petit et une intégration plus élevée, la technologie de contrôle de la température Chiller évoluera vers une plus grande précision, un changement de température plus rapide et un domaine de température plus large, poussant la fabrication avancée vers de nouveaux sommets.

Les dispositifs de contrôle de la température à semi - conducteurs Chiller sont devenus des équipements clés essentiels pour l'industrie moderne grâce à leur capacité de contrôle de la température extrême, à leur haute précision et à leur réponse rapide, offrant une garantie fiable de contrôle de la température dans les domaines des semi - conducteurs, de l'optoélectronique, de la science des matériaux et d'autres domaines.