Dans des domaines de pointe tels que l'optoélectronique, les technologies d'imagerie ainsi que l'intelligence artificielle,Processus d'usinage de matrice de microlentillesExigeant, en ce qui concerne les performances inférieures et l'expansion de l'application, les points clés suivants sont analysés à partir de multiples aspects.

La sélection des matériaux est fondamentale et doit tenir compte des caractéristiques optiques et de la stabilité mécanique. Le quartz est idéal pour la bande ultraviolette à proche infrarouge en raison de la transmission ultra - élevée et du faible coefficient de température de l'indice de réfraction, peut concentrer la lumière avec précision et réduire les interférences chromatiques; Le Polyméthacrylate de méthyle (PMMA) en raison de sa bonne plasticité, de sa légèreté et de son indice de réfraction modéré, de son adaptation à l'imagerie infrarouge et de sa légèreté, favorise la préparation à grande échelle. Après avoir sélectionné le matériau, strictement contrôler la pureté, les impuretés traces peuvent diffuser la lumière, réduire l'uniformité de la matrice.

La précision est contrôlée tout au long du processus, la tolérance dimensionnelle est presque "millicentime à étudier". La déviation du diamètre d'une seule Microlentille doit être contrôlée à l'échelle submicronique, pour s'assurer que la matrice est alignée étroitement et uniformément espacée, sinon le chemin optique est perturbé, la distorsion d'imagerie ou l'efficacité de couplage chute; La rugosité de surface est également requise à l'échelle nanométrique, la surface lisse garantit la réfraction de la lumière, la réflexion suit la trajectoire de conception et réduit les pertes par diffusion, ce qui pose un défi élevé à la résolution de l'équipement de traitement et à la stabilité du processus.

Boucle d'anneau de liaison de processus, la technologie de lithographie utilise la lithographie ultraviolette profonde, le transfert précis du motif de conception à la base, la résolution peut atteindre moins de cent nanomètres, décrivant le contour embryonnaire de la Microlentille; Ensuite, le processus de gravure du relais, la gravure sèche de l'anisotropie est bonne, peut graver le matériau verticalement, garantit la paroi latérale de la lentille raide et droite, la gravure humide est la corrosion sélective par la solution chimique, le bord flexible ou ajuster la courbure, les deux coopèrent pour sculpter la morphologie de surface idéale. Le moulage par fusion à chaud est également essentiel pour contrôler avec précision la température et le temps, permettre au matériau de remodeler le flux à l'état solide, corriger les erreurs de courbure et façonner la surface optique de haute précision.

Balayage par microscope à force atomique de la liaison de détection, dessiner le profil de surface en trois dimensions, quantifier la rugosité, le rayon de courbure; Le système de détection optique simule le chemin optique réel, projette une lumière parallèle, analyse la focalisation, l'effet de diffraction, rétroaction en temps réel sur les défauts de traitement afin de revenir au four à temps pour le retravaillage. De la sélection des matériaux à la finition, en passant par l'inspection rigoureuse, le traitement des matrices de microlentilles s'effectue progressivement pour permettre à la technologie d'évoluer vers une dimension de performance supérieure.