Qingdao Core Radisson a récemment lancé un certain nombre de produits de mesure de Débit massique de gaz et de contrôleur de Débit massique, a réussi à passer la technologie de base de la chaîne complète de la puce MEMS à l'instrumentation et à l'algorithme de détection de débit, devenant l'une des seules entreprises de haute technologie de la ville de Qingdao à maîtriser la technologie de la puce de base MEMS.

Avec l'importance et le soutien de l'État pour les instruments domestiques et les équipements à semi - conducteurs, l'industrie nationale des instruments d'analyse et l'industrie des équipements à semi - conducteurs ont réalisé un développement rapide. En tant qu'instrument d'analyse et composant central de l'équipement de semi - conducteur, le débitmètre / Contrôleur de masse de gaz est encore principalement importé à l'heure actuelle, et la demande de remplacement de la localisation est urgente. Contrairement aux débitmètres de type volumétrique traditionnels de pression différentielle, de vortex et autres principes, les débitmètres massiques de gaz MEMS effectuent des mesures très précises du Débit massique de gaz sur la base du principe de conduction thermique, ce type de produit n'est pas affecté par des paramètres environnementaux tels que la température et la pression.

Contrôleur de Débit massique de gaz de la série Qingdao Core Radisson s500, la conception de canal de gaz avec * peut réaliser la configuration flexible de rapport de shunt, la couverture d'échelle est 1sccm ~ 120slm, la précision minimale de contrôle est 0.1sccm, la quantité de dérive de la plage de température 0 ~ 50 ℃ est seulement 0.4 ~ 0.6%. En ce qui concerne les signaux électriques, de nombreuses méthodes de contrôle numériques et analogiques sont disponibles et équipées d'écrans de qualité industrielle pour faciliter la mise en service et la configuration sur site du client.