Récemment, Qingdao Core Radisson micro et Nano Electronic Technology Co., Ltd(abréviation de "Qingdao Core Radisson") a réalisé une percée majeure dans le Contrôleur de Débit massique de gaz (Mass Flow Controller, MFC), a surmonté les obstacles techniques clés qui ont longtemps entravé le développement de MFC de qualité semi - conductrice domestique, a développé avec succès deux produits MFC de qualité semi - conductrice basés sur des vannes proportionnelles piézoélectriques à haute vitesse, les produits ont une grande précision, fiabilité et 5 fois la stabilité des produits existants.

　　Pourquoi développer le niveau semi - conducteurMFC ?

MFC， C'est - à - dire le Contrôleur de Débit massique, un instrument de précision capable de mesurer et de contrôler avec précision le débit massique d'un fluide, une unité fonctionnelle clé pour assurer la précision du processus et la cohérence du produit. MFC joue un rôle dans tous les maillons du processus de semi - conducteurimportantLe rôle, par exemple, dans le processus de processus (gravure, revêtement, etc.), est utilisé pour surveiller ou réguler en temps réel le débit de chaque composant du gaz mélangé, ainsi que le degré de vide de l'équipement, afin d'assurer une proportion précise du gaz mélangé; Dans la chaîne de nettoyage des matériaux, il est utilisé pour contrôler le débit d'azote dans le processus et assurer l'effet de nettoyage et de séchage; Dans des infrastructures telles que l'internetteté ultra, pour un contrôle stable à long terme de la propreté des gaz ambiants et de la vitesse du vent. Pour garantir la stabilité du processus de fabrication des semi - conducteurs et la qualité du produit, les produits MFC sont généralement requis pour une grande précision, une grande stabilité, une grande fiabilité et une réponse rapide.

Ces dernières années, le JaponHoriba、 Brooks et d'autres entreprises américaines ont lancé des vannes proportionnelles en céramique piézoélectrique et des produits MFC à semi - conducteur basés sur des vannes proportionnelles piézoélectriques, améliorant la vitesse de réponse tout en réduisant considérablement les problèmes de dégradation de l'énergie neutre, de génération de chaleur et de fuite d'air à long terme. Bien que certaines entreprises nationales aient réalisé un développement décent, leurs produits sont toujours dominés par la technologie traditionnelle de Vanne proportionnelle électromagnétique, la force du produit est insuffisante pour répondre aux besoins de haute précision, de fiabilité élevée et de réponse rapide de l'industrie des semi - conducteurs. Aujourd'hui, la technologie de mesure et de contrôle de débit piézoélectrique de haute qualité, hautement fiable et rapide à répondre, est monopolisée à l'étranger, avec des prix élevés et un risque de rupture de l'alimentation à tout moment, ce qui entraîne des menaces de sécurité de composants clés dans les équipements semi - conducteurs d'importance nationale.

Au cours des six années de guerre commerciale sino - américaine, notre industrie des semi - conducteurs a connu un développement rapide grâce à des mesures telles que l'augmentation de l'innovation indépendante, la promotion du développement synergique de la chaîne industrielle, la participation active à la coopération internationale et l'obtention d'un soutien politique et d'investissements financiers. Dans le même temps, avec l'augmentation du processus de fabrication de semi - conducteurs et la demande croissante du marché, laLes besoins de domestication des MFC vont également augmenter. Par conséquent, le développement de MFC de niveau semi - conducteur et la promotion de la domestication de ce composant de base sont essentiels pour garantir la sécurité de la chaîne industrielle nationale des semi - conducteurs.

　Schéma de la structure interne du s700

　　Qingdao Core Radisson force géométrie- Oui?

Qingdao Core Radisson se concentre surTechnologie de mesure et de contrôle du débit de gaz, l'objectif est de devenirD'accordFournisseurs de composants semi - conducteurs. L'équipe principale de l'entreprise vient de SingapourA*STAR、 Kit allemand, Université Tsinghua, Académie chinoise des sciences, Université Tongji, Université du Shandong et d'autres institutions de recherche clés à la fois à l'étranger et à l'étranger, maîtriser la technologie de base autonome de la chaîne complète de puces de détection de flux de base, modules, algorithmes, intégration de systèmes et autres. Actuellement, la société a 23 inventions, 14 modèles d'utilité et plus de 50 certificats de métrologie de première classe; Entreprendre le programme national de R & D clé du Ministère de la science et de la technologie 2, et le programme de R & D clé de la province du Shandong (ingénierie d'innovation scientifique et technologique majeure) 1; Il a construit la plate - forme de R & D "Qingdao Core Radisson - Laboratoire commun de mesure et de contrôle des capteurs de l'Université du Shandong", "Qingdao Gas Flow Measurement and Control Technology Focus Laboratory", "Qingdao Gas Flow Measurement and Control Technology Specialist Workstation", et dispose d'un atelier de R & d de 800 mètres carrés, d'un atelier de fabrication de 4000 mètres carrés et de plus de 100 équipements d'étalonnage de débit; Avec la gestion de la qualité et les certifications de fabrication telles que IS09001, is014001, etc.

La stabilité du marché repose sur de solides garanties de qualité des produits. Après des années de labourage, Qingdao Core Radisson a forméLa série S300, la série ut, la série E et d'autres lignes de produits matures et stables, et dans de nombreux domaines tels que le photovoltaïque, la protection de l'environnement, le médical et d'autres, ont obtenu une reconnaissance unanime du marché. Aujourd'hui, a ajouté S700 et df500 deux produits de débitmètre spécial semi - conducteur, commencer à mettre en page le marché des semi - conducteurs. Parlant des avantages de la société et des produits, le fondateur de la société, le Dr Tao jifang, a déclaré: « en tant que société de capteurs native, les avantages de Qingdao Core Radisson comprennent principalement trois points: premièrement, notre équipe est assez bonne, chacun a une excellente capacité et une expérience riche; deuxièmement, Nous avons un bon environnement écologique, la livraison de la garantie de la qualité des produits ne peut pas se faire sans le soutien fort des partenaires en amont, et les clients en aval maintiennent une coopération étroite; enfin, Qingdao Core Radisson a maintenu une forte intensité de R & D et de fabrication, les investissements de R & d nous permettent de maintenir la technologie.AvancéLes intrants de fabrication garantissent la qualité de nos produits. Ne pas rouler à l'intérieur du marché bas de gamme, c'est la clé de notre rupture ", a ajouté le Dr Tao jifang.

　　Qingdao Core Radisson nouveaux produits seront dévoilés2024 "Salon des semi - conducteurs et des composants de base"

　　"Ce n'est pas assez", a déclaré le Dr Lin, Chef du Centre de recherche et développement de Qingdao Core Radisson, à propos des nouveaux produits MFC de qualité semi - conductrice de la société, "bien que la société ait déjà une place sur le marché photovoltaïque et ait reçu des commandes stables, nos capacités et Nos objectifs ne s'arrêtent pas là, nous allons aborder les composants de base de l'équipement semi - conducteur un par un, cette fois S700 et df500 sont l'une des principales percées".

Les deux nouveaux produits développés par Qingdao Core Radisson utilisent la technologie de Vanne proportionnelle piézoélectrique à haute vitesse, ainsi que la technologie de compensation des fluctuations de pression dynamique,« la valve proportionnelle piézoélectrique est le composant de contrôle central dans le MFC, formant une boucle fermée avec le capteur de débit, réalisant un ajustement dynamique et rapide du débit de gaz », a déclaré M. Lin, « par rapport à la valve proportionnelle électromagnétique du courant principal domestique actuel, la valve proportionnelle piézoélectrique a une réponse rapide, une précision de contrôle élevée et une consommation d'énergie et un bruit thermique extrêmement faibles. Nous commençons le travail de R & D sur la valve proportionnelle piézoélectrique à partir de 2021, nous avons maintenant réalisé la conception de l'empilement de céramique piézoélectrique, l'optimisation de la structure de l'actionneur, l'étanchéité tout en métal et D'autres technologies clés, la performance et la cohérence de la valve proportionnelle

Pour répondre aux différents besoins d'application, cette fois - ci Qingdao Core Radisson a développé deux produits différents qui se distinguent comme suit:

Les deux produits ont un accent légèrement différent, parmi lesquels,Le df500 est plus avantageux en termes de précision et de temps de réponse dans le contrôle de petit débit, adapté au processus avancé de 7nm / 14nm; Alors que le S700 dispose d'un choix d'échelle plus large et d'une température de fonctionnement adaptée aux processus généraux. « les deux produits utilisent les algorithmes de contrôle dynamique adaptatif les plus récents de la société, que les clients peuvent choisir en fonction de leurs besoins réels. Les deux MFC sont fabriqués avec des matériaux bi - V de qualité semi - conductrice et un traitement EP conforme aux exigences semi », a déclaré M. Lin. « les deux produits seront présentés au Semiconductor Equipment and Core Components show le 25 septembre et les nouveaux et anciens clients sont invités à communiquer. »

　　Résumé:

Au niveau semi - conducteurMFC cette piste, notre recherche a commencé tard, la technologie et les produits sont soumis aux pays occidentaux, menaçant gravement l'intégrité de la chaîne et la sécurité de notre industrie des semi - conducteurs. À l'heure actuelle, Qingdao Core Radisson a terminé le puzzle de 0 à 1, suivi de la meilleure façon de faire le saut de 1 à 100. La montée en puissance des fabricants nationaux tels que Qingdao Core Radisson représente non seulement une amélioration du niveau technologique national, mais aussi un signe que notre pays sera plus compétitif dans le domaine de la haute technologie mondiale.