Points clés de la maintenance quotidienne

Contrôle environnemental

SEM est sensible à la température et à l'humidité, doit maintenir la température du laboratoire à 18 - 25 ℃, humidité ≤ 60% RH, éviter le vieillissement des composants électroniques à haute température ou la corrosion du circuit électrique provoquée par une humidité élevée. L'équipement doit être placé sur une table antichoc indépendante, loin des portes et fenêtres, des évents et des sources d'interférence telles que l'alimentation haute fréquence, et équipé d'une alimentation régulée par UPS pour empêcher les fluctuations de tension. Vérifiez la température de l'eau de refroidissement avant de l'allumer tous les jours, puis éteignez le système de refroidissement 15 minutes après l'arrêt pour éviter les dommages causés par la surchauffe du filament.

Maintenance du système de vide

Le système de vide est la base du fonctionnement stable de Sem. Vérifiez quotidiennement le niveau d'huile de la pompe mécanique, de la pompe moléculaire, assurez - vous que le niveau d'huile est au - dessus du Réticule; L'huile de pompe mécanique est changée tous les 6 mois et la graisse de roulement de pompe moléculaire est changée annuellement. Nettoyez le joint d'étanchéité de la Chambre d'échantillon par ultrasons à l'acétone tous les mois pour éviter les fuites dues à la pollution par les particules. Si le vide est insuffisant, il est nécessaire de détecter le point de fuite avec un spectromètre de masse à hélium, en se concentrant sur l'inspection de l'interface du pistolet électronique et de la bande d'étanchéité de la porte de la Chambre d'échange d'échantillons.

Nettoyage des composants optiques

Le cylindre de miroir, la cabine d'échantillon doivent être nettoyés régulièrement. Essuyez la table d'échantillon et la paroi intérieure de la cavité avec du papier sans poussière chaque semaine, utilisez de l'alcool à 70% ou de l'eau désionisée chaque mois pour éliminer les taches tenaces et désactivez les solvants organiques tels que l'acétone. La surface du détecteur doit être nettoyée de la poussière avec un soufflage d'azote ou une brosse à poils souples pour empêcher les interférences de signal; Le détecteur d'électrons rétrodiffusés (BSE) étalonne le gain chaque mois avec un échantillon standard de film d'or, assurant un contraste d'image stable.

Pistolet électronique et gestion du filament

La durée de vie du filament de tungstène est d'environ 100 - 200 heures et la durée de vie du filament Schottky du pistolet à tir de champ (FEG) est d'environ 1000 - 2000 heures. Le filament doit être remplacé à temps après saturation pour éviter les dommages causés par la rupture du canon électronique. L'étalonnage de centrage du canon à électrons est effectué semestriellement pour assurer une mise au point précise du faisceau d'électrons et empêcher la dérive ou l'astigmatisme de l'image.

Dépannage et traitement des défaillances courantes

Anomalies de l'image

Tout noir / aucun signal: vérifiez la connexion d'alimentation, l'état du bouton d'arrêt d'urgence et les liens de communication de l'ordinateur, redémarrez le logiciel et chargez les paramètres par défaut. Si le problème persiste, nettoyez le diaphragme ou effectuez une correction d'astigmatisme.

Dérive d'image / tache lumineuse: les échantillons non conducteurs doivent être pulvérisés avec un film d'or de 5 - 20nm ou collés avec du ruban conducteur, réduire la tension d'accélération à 1 - 5kV et activer la compensation dynamique des aberrations.

Défaillance du système de vide

Degré de vide insuffisant: vérifiez le niveau d'huile et la qualité de la pompe mécanique avant la pompe moléculaire, utilisez la méthode de pulvérisation d'acétone pour détecter les points de fuite. Si la bague d'étanchéité de la Chambre d'échantillon vieillit, elle doit être nettoyée par ultrasons ou remplacée.

Fuite soudaine: Fermez la vanne à vide pour isoler la zone de fuite, utilisez un détecteur de fuite à vide portable pour localiser le point de fuite, Remplacez le joint torique.

Instabilité du faisceau d'électrons

Fluctuation du flux de faisceau: vérifier la stabilité de la tension d'alimentation, configurer l'alimentation UPS; Si le matériau de la cathode est oxydé, un ingénieur professionnel est nécessaire pour remplacer le filament.

Distorsion de balayage: effectuez une correction de distorsion orthographique en cinq points avec un échantillon standard de matrice de particules d'or, ajustez la symétrie du signal d'entraînement de la bobine de balayage par logiciel.

Problèmes de préparation des échantillons

Effet de charge: les échantillons biologiques sont séchés à l'aide d'un point critique et les échantillons macromoléculaires permettent une table de refroidissement à l'azote liquide (- 120 ° c) pour réduire la dérive thermique.

Dommages thermiques: contrôle de la densité de flux du faisceau d'électrons < 1a / cm², balayage sous - régional pour éviter la surchauffe locale.

Stratégie de maintenance préventive

Entretien mensuel: nettoyage de la salle d'échantillonnage, remplacement de l'huile de la pompe à vide, vérification du gain du détecteur.

Maintenance trimestrielle: Calibration de l'efficacité quantique du détecteur de centrage et de détection (valeur qe) du canon à électrons.

Maintenance annuelle: examen médical complet par un ingénieur professionnel, axé sur la vérification de la durée de vie de la cathode du pistolet à électrons et de la stabilité du champ magnétique.

Gestion des pièces de rechange: réserve de filaments de rechange, joints toriques, liquide de refroidissement du détecteur et détecteur de fuite sous vide portable pour réduire le temps de réparation des défauts.

Grâce à la maintenance systématique et à la détection des pannes, la qualité d'imagerie du SEM peut être améliorée de plus de 30% et la durée de vie de l'équipement peut atteindre plus de 10 ans. Il est recommandé d'établir un journal de l'utilisation de l'appareil, d'enregistrer les changements des paramètres clés, de fournir un support de données pour le diagnostic des pannes.