Contrairement aux contrôleurs de Débit massique thermiques traditionnels qui s'appuient sur le chemin technologique de la mesure indirecte des propriétés thermiques du gaz, les contrôleurs de Débit massique différentiels laminés à écoulement facile adoptent des principes innovants qui résolvent à la racine de nombreux points douloureux des équipements traditionnels. Son noyau réside dans la transformation du gaz turbulent en un état de flux laminaire stable et ordonné grâce à un élément laminaire de précision, en utilisant un capteur de pression différentielle haute sensibilité pour capturer directement la différence de pression aux deux extrémités de l'élément laminaire, en combinaison avec la compensation dynamique en temps réel du capteur de température et de pression intégré pour un contrôle précis du Débit massique. Cette méthode de mesure basée sur les lois de la physique permet aux produits d'avoir une stabilité et une fiabilité innées, adaptées aux exigences du processus de fabrication de semi - conducteurs pour un fonctionnement continu à long terme.

La haute précision et la forte stabilité sont les principaux avantages du processus semi - conducteur adapté aux produits easy. Dans la fabrication de semi - conducteurs, de petites fluctuations du débit de gaz peuvent entraîner des problèmes tels que l'épaisseur inégale du film, la déviation de la gravure graphique et d'autres problèmes, affectant directement la performance de la puce. Le régulateur de Débit massique différentiel laminé de Susceptibility permet une précision et une répétabilité de mesure élevées en optimisant la conception et l'algorithme de compensation des éléments laminaires, en maintenant des performances de contrôle stables même dans un fonctionnement à long terme, évitant efficacement les problèmes de dérive de précision causés par le vieillissement des éléments ou les changements environnementaux Dans les équipements traditionnels. Dans le même temps, ses caractéristiques à large échelle peuvent couvrir les exigences de la scène complète, des petits débits aux débits élevés, un seul appareil peut répondre aux besoins de contrôle du débit de plusieurs processus, réduisant ainsi la complexité de la configuration de l'appareil.

La Haute adaptabilité environnementale et la compatibilité avec les gaz permettent aux produits sensibles de faire face aux conditions de travail complexes de la fabrication de semi - conducteurs. Non seulement l'azote, l'argon et d'autres gaz inertes sont impliqués dans le processus de semi - conducteur, mais également une variété de gaz corrosifs, et l'environnement du processus présente des fluctuations de température et de pression. Les produits de susceptibilité utilisent un canal d'écoulement en acier inoxydable 316L avec un boîtier d'étanchéité métallique, peuvent résister à l'érosion par les gaz corrosifs, maintenir un fonctionnement stable dans une large plage de température et de pression, résoudre certains points douloureux avec d'excellentes performances de laboratoire d'équipement domestique, mais de mauvaises performances dans les conditions de travail de l'usine. Sa base de données intégrée de plusieurs gaz, qui prend en charge l'édition indépendante de la proportion de gaz mélangés, ne nécessite pas de ré - étalonnage manuel lors de la commutation des gaz, améliore considérablement l'efficacité et la commodité de la commutation du processus semi - conducteur.

Les caractéristiques simples et durables de la conception structurelle réduisent considérablement les coûts d'exploitation et de maintenance des entreprises de semi - conducteurs. La partie de détection du noyau du Contrôleur de Débit massique différentiel laminaire de susceptibilité n'a pas de pièces mobiles facilement Abrasives, repose principalement sur des éléments laminaires statiques et des capteurs de pression différentielle pour travailler, non seulement pour améliorer considérablement la durée de vie du produit, mais aussi pour réduire l'incidence des défaillances. Par rapport aux besoins d'étalonnage et de maintenance fréquents des équipements traditionnels, le cycle d'étalonnage des produits de facilité est considérablement prolongé, la charge de travail de maintenance quotidienne est considérablement réduite, ce qui réduit efficacement les temps d'arrêt des équipements et les coûts d'exploitation et de maintenance, ce qui correspond aux besoins de production continue des entreprises de semi - conducteurs.

En tant que la première entreprise nationale à passer la certification relative à la différence de laminage, Yili a brisé le monopole étranger grâce à sa capacité de recherche et développement entièrement indépendante, et ses produits ont été appliqués en vrac dans la machine de lithographie domestique, la machine de gravure et d'autres fabricants d'équipements de tête, vérifiant pleinement sa capacité à remplacer les produits importés. Dans le contexte où l'autonomie de la chaîne industrielle peut être contrôlée en tant que stratégie nationale, le Contrôleur de Débit massique différentiel laminé Easy flow offre non seulement un programme domestique rentable aux entreprises de semi - conducteurs, mais également une amélioration de l'industrie nationale des instruments de précision grâce à l'innovation technologique.

La substitution domestique de l'industrie des semi - conducteurs est une attaque à long terme, la percée des dispositifs de base est un maillon clé. Avec ses avantages combinés de précision et de stabilité, de réponse rapide, d'adaptation forte, de durabilité et d'entretien facile, le Contrôleur de Débit massique différentiel laminé Easy flow devient une force importante dans la vague de remplacement domestique de la fabrication de semi - conducteurs. À l'avenir, avec l'itération continue de la technologie, easy consolidera davantage les compétences de base et fournira un soutien plus fort au développement autonome contrôlable et de haute qualité de l'industrie nationale des semi - conducteurs.