Comment le MFC de susceptibilité produit - il un flux de forme d'onde sinusoïdale?

᜝10.15,20241

Brève introduction

Le régulateur de Débit massique de gaz (MFC) peut contrôler avec précision le débit de gaz en fonction des valeurs de débit définies, et les clients dans la plupart des scénarios souhaitent que le MFC produise un débit stable. Mais que se passe - t - il si un client veut un flux qui change dynamiquement, comme celui d'une forme d'onde sinusoïdale?

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