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Shanghai Boming Scientific Instrument Co., Ltd
Le microspectromètre d'épaisseur de film est un instrument de mesure d'épaisseur de film mince de haute précision qui combine la microscopie avec la technologie spectrophotométrique
Date :2025-09-03Lire :1
Le microspectromètre d'épaisseur de film est un instrument de mesure de haute précision basé sur les principes d'interférence et de spectroscopie de la lumière, principalement utilisé pour mesurer l'épaisseur des films minces, des plaquettes, des matériaux optiques et des films multicouches de manière non destructive et sans contact, et pour analyser leurs constantes optiques (telles que L'indice de réfraction, le coefficient d'extinction).
La réflectivité spectrale de zones minuscules est mesurée par microspectrométrie, et lorsque les rayons lumineux sont réfléchis plusieurs fois sur les surfaces avant et arrière du film pour former des franges d'interférence, la technologie spectroscopique décompose les franges d'interférence en spectres de différentes longueurs d'onde et mesure leur distribution d'intensité, calcule l'épaisseur du film et les Paramètres optiques par algorithme.
Le microspectromètre d'épaisseur de film permet une mesure non destructive et sans contact par le principe d'interférence et de spectroscopie de la lumière. Lorsque la lumière brille sur la surface du film mince, de nombreuses réflexions sur la surface avant et arrière du film mince forment des franges d'interférence, la technologie de spectroscopie décompose ces franges en spectres de différentes longueurs d'onde, en mesurant la distribution spectrale d'intensité et en combinant le calcul algorithmique, peut obtenir avec précision des paramètres tels que l'épaisseur du film mince (1 nm - 35 µm), l'indice de réfraction (n), le coefficient d'extinction (k), etc.
Il se compose généralement de parties telles que le système optique, le système de détection, le système de contrôle et la table d'échantillon. Le système optique comprend une source lumineuse, un séparateur, un objectif réfléchissant, etc., pour générer et transmettre les rayons lumineux et les focaliser sur la surface de l'échantillon; Le système de détection est généralement constitué de détecteurs ou analogues pour détecter l'intensité des rayons lumineux réfléchis ou transmis; Le système de contrôle est responsable du fonctionnement de l'instrument et du traitement des données; La table d'échantillon est utilisée pour placer l'échantillon et peut permettre le déplacement et le positionnement de l'échantillon.
Précautions d'utilisation
Contrôle de l'environnement: évitez la lumière directe du soleil, l'environnement chaud et humide, évitez l'humidité ou la contamination du système optique.
Calibrage et maintenance: calibrage régulier avec des échantillons standard, nettoyage des composants optiques pour une durée de vie plus longue.
Manipulation de l'échantillon: Assurez - vous que la surface de l'échantillon est plane avant la mesure et évitez que la rugosité n'affecte les données de réflectivité.
Sécurité des données: Choisissez un modèle qui prend en charge le stockage et le transfert de données (par exemple USB, Bluetooth) pour une analyse ultérieure facile.