La table chaude et froide de microscope de sonde est un instrument scientifique qui combine le test de sonde avec le contrôle de température, principalement pour le test de performance électrique des dispositifs semi - conducteurs dans des environnements à haute température / basse température. Il peut atteindre un contrôle précis de la température de - 190 ℃ à + 600 ℃, soutenir un réchauffement / refroidissement rapide (1 - 200 ℃ / min), adapté pour le frittage des matériaux, l'analyse du point de fusion et d'autres expériences. Equipé d'un système de sonde de précision, il prend en charge les tests DC / RF, peut mesurer la résistance de la puce, les tests de fiabilité et les tests de caractéristiques de température dans un environnement à haute température / basse température. Compatible avec la microscopie optique, il peut observer les changements microstructuraux tels que les inclusions fluides, les inclusions fondues et d'autres domaines, applicables à la minéralogie, à la science des matériaux et à d'autres domaines.
Ses fonctions principales sont:
Contrôle de la zone de température étendue: la régulation de la zone de température étendue de - 190 ℃ à 1000 ℃ est obtenue par la réfrigération à l'azote liquide, le chauffage par résistance ou la réfrigération à semi - conducteurs (effet Peltier).
Test électrique de la sonde: équipé d'une plate - forme de déplacement de précision triaxiale X / y / z (telle que la précision de déplacement ≤ 1 μm), prend en charge l'alignement de la sonde avec l'échelle micrométrique de la surface de l'échantillon pour réaliser des tests de conductivité électrique, de courbe IV et D'autres Performances électriques. Par exemple, dans l'étude des dispositifs semi - conducteurs, les propriétés électriques d'un échantillon au niveau de la plaquette peuvent être mesurées avec précision à différentes températures.
Synergie d'imagerie microscopique: fenêtre transparente optique intégrée (par exemple verre saphir) ou conception de trou de lentille, compatible avec des appareils tels que microscope optique, microscope à fluorescence et spectromètre Raman, permettant l'observation en temps réel de la microstructure de l'échantillon pendant le changement de température. Par exemple, en science des matériaux, on peut observer les changements dans la structure du réseau cristallin d'un matériau macromoléculaire au cours d'un changement de phase.
Scène d'application
Test de semi - conducteur: évalue la stabilité des propriétés électriques de la puce à * * température.
Étude des matériaux: étude des propriétés thermophysiques telles que le coefficient de dilatation thermique, la température de changement de phase, etc.
Inspection industrielle: test de fiabilité de la résistance à la température des pièces automobiles, des composants électroniques.