La plate - forme d'isolation de vibration de flotteur d'air est l'équipement précis utilisant le gaz comprimé (air ou azote) comme support et milieu d'isolation de vibration, le noyau isole les vibrations ambiantes par le ressort de gaz et le système d'amortissement, fournissant une surface de base de travail stable pour la scène de haute précision, largement utilisée dans la recherche scientifique et l'industrie et d'autres domaines. Conclusion de base: le courant principal est divisé en passif et actif, les scénarios conventionnels privilégient le passif (coût élevé, entretien facile), la précision à l'échelle nanométrique ou les environnements de vibrations difficiles choisissent l'actif (efficacité d'isolation vibratoire plus élevée); Le noyau optionnel se concentre sur les trois principaux indicateurs de fréquence intrinsèque, de capacité de charge et de précision du comptoir.
L'entretien de la plate - forme d'isolation par Vibration aéroflottante doit se concentrer sur le système de source d'air, les roulements aéroflottants, les joints et le nettoyage de l'environnement, y compris la vérification quotidienne de la pression d'air, la lubrification régulière, le remplacement des composants vieillissants, etc.
La plate - forme d'isolation vibratoire aéroflottante forme un film de gaz stable entre la plate - forme et la Fondation par l'air à haute pression, en utilisant l'effet de pression statique de l'air pour réaliser la suspension et l'isolation vibratoire. Le processus spécifique est le suivant:
Formation de film de gaz: la source de gaz comprimé injecte du gaz dans la cavité à gaz dédiée entre la plate - forme et la base, formant un film de gaz mince * uniformément réparti, permettant au corps de la plate - forme de se désengager du contact solide avec la base, affaiblissant considérablement l'efficacité de conduction des vibrations.
Régulation paramétrique: Équipé d'un module de régulation de pression d'air, il peut réguler avec précision la rigidité du film de gaz et les paramètres d'amortissement en fonction des besoins d'isolation vibratoire de différents équipements tels que le microscope électronique, l'interféromètre laser et d'autres, pour réaliser un contrôle de vibration personnalisé.
Compensation de déplacement: certains modèles intègrent un système de surveillance et de compensation de déplacement de haute précision pour capturer en temps réel de minuscules changements d'attitude de la plate - forme grâce à des capteurs, ainsi que des actionneurs pneumatiques ou électriques pour corriger rapidement les écarts de déplacement et améliorer encore la stabilité opérationnelle.
Scène d'application
La gamme d'applications de la plate - forme d'isolation vibratoire aéroflottante est en constante expansion et a maintenant été appliquée à trois domaines principaux:
Domaine expérimental de la recherche scientifique: dans l'observation de l'Intrication quantique, la détection par microscopie à force atomique, l'étalonnage des composants optiques de précision et d'autres expériences, il est utilisé pour isoler les vibrations du sol du laboratoire et le bruit de l'équipement périphérique, assurer la précision et la répétabilité des données expérimentales, fournir un environnement stable pour la recherche scientifique.
Domaine médical et aérospatial: dans l'équipement d'imagerie par résonance magnétique nucléaire à haute intensité de champ, l'instrument d'inspection de précision des composants aérospatiaux, la stabilité opérationnelle de l'équipement est garantie par l'isolation par vibration, afin de répondre aux exigences de détection de précision des composants d'imagerie médicale et spatiaux à haute résolution.
Domaine de la fabrication de précision: dans la machine de lithographie, l'équipement de détection de plaquette, le Centre d'usinage et d'autres équipements, pour garantir la précision de l'usinage et éviter les erreurs d'usinage causées par les interférences de vibration.