L'industrie des semi - conducteurs est basée sur des matériaux semi - conducteurs tels que le silicium, couvrant des domaines tels que les circuits intégrés, les dispositifs optoélectroniques et d'autres, où les circuits intégrés représentent plus de 80%. L'industrie a une forte demande d'eau Ultrapure, la qualité de l'eau affecte directement la qualité et la performance de la production, la surveillance de l'eau Ultrapure devient le lien clé.
La norme actuelle de l'eau Ultrapure de semi - conducteur dépasse de loin la norme nationale de l'eau électronique la plus haute exigence, les indicateurs de base comprennent: la résistivité doit être supérieure à 18,2 mégaohms (25 ℃), pour assurer la teneur en ions extrêmement faible; Le toc (total organic carbon) est contrôlé en dessous de 0,5 ppb, ce qui évite d'affecter la précision de la lithographie; Pas plus de 100 particules par litre de plus de 0,05 micron; L'oxygène dissous doit être inférieur à 1 ppb pour empêcher l'oxydation des ions métalliques.
L'eau ultra - pure est appliquée au processus de production complet comme le rinçage des plaquettes, le processus de lithographie, le refroidissement par gravure, le polissage mécanique, etc. elle est également utilisée pour le refroidissement des équipements et la recherche et le développement en laboratoire. Sur la méthode de surveillance, les microparticules sont détectées avec un compteur de particules liquides, TOC、 La résistivité, l'oxygène dissous, etc. sont surveillés en temps réel par des instruments électrochimiques en ligne, combinés à un système intégré pour la gestion dynamique de la qualité de l'eau.
Le cycle de surveillance dépend des variations de la demande de production et de la qualité de l'eau et nécessite des analyses d'échantillonnage régulières. L'eau ultra - pure est traitée par l'eau d'origine par ACF, uf, RO, EDI et d'autres multi - étapes, puis par le dispositif de lampe toc - UV pour réduire le toc à moins de 1 ppb.
Avec la réduction de la taille des composants semi - conducteurs et l'amélioration de la précision, les exigences en matière de qualité de l'eau continuent d'augmenter. L'industrie relève des défis plus difficiles en améliorant la précision de l'inspection et en appliquant de nouvelles technologies telles que la surveillance à distance, afin de réduire les pertes de production dues aux problèmes de qualité de l'eau et de garantir la qualité des produits.