Dans la fabrication de précision des puces semi - conductrices, la formation uniforme de film pour le revêtement sous vide, le scellement de l'emballage alimentaire et d'autres liens clés, la pompe à vide en tant qu'équipement de base pour la création et le maintien de l'environnement sous vide, ses performances déterminent directement la stabilité du processus et la qualité du produit. Les caractéristiques des processus varient considérablement d'une industrie à l'autre et les exigences relatives aux pompes à vide sont également ciblées. Lors du choix d'une pompe à vide, il est nécessaire de serrer les facteurs de processus de base tels que la corrosivité des médias, l'absence d'exigences en matière d'huile, la stabilité du vide et d'autres, afin de réaliser une correspondance précise entre l'équipement et les besoins de production, pour une production efficace.
Industrie de fabrication de puces semi - conductrices, le choix de la pompe à vide doit être "propre et résistant à la corrosion" comme noyau. Le processus de fabrication de la puce utilisera du Silane, du chlorure d'hydrogène et d'autres gaz corrosifs puissants, tout en exigeant que le système de vide soit exempt de toute pollution par les vapeurs d'huile - même les molécules d'huile à l'état de traces peuvent entraîner un court - circuit du circuit de la puce ou une dégradation des performances. Par conséquent, la préférence doit être donnée aux pompes à vide en matériaux résistants à la corrosion (tels que Hastelloy, revêtement PTFE), telles que les pompes à vide à vis sèches ou les pompes à vide vortex, qui résistent aux fluides corrosifs forts et évitent les fuites de vide causées par l'érosion du corps de pompe. Dans le même temps, l'équipement doit répondre aux exigences de conception sans huile, avec un système de filtration à haute efficacité, pour contrôler les particules d'impuretés dans l'environnement sous vide en dessous de 0,1 μm, pour assurer des normes de nettoyage ultra - élevées pour la fabrication de puces.
L'industrie du revêtement sous vide, "stabilité du vide et vitesse d'extraction" est la clé du choix de la pompe à vide. Que ce soit le revêtement décoratif du moyeu de la voiture ou la préparation du film opacifiant des lentilles optiques, un vide stable est nécessaire pour garantir l'uniformité et l'adhérence de la couche de film. Au début du revêtement, il est nécessaire d'extraire rapidement l'air de la cavité, ce qui nécessite une grande vitesse d'extraction de la pompe à vide; La phase de formation de film doit alors stabiliser le degré de vide dans la gamme 10⁻³ ~ 10⁻pa, pour éviter les fluctuations de pression qui provoquent des trous d'épingle ou une différence de couleur dans la couche de film. En outre, une partie du processus de revêtement produira de la vapeur métallique ou de la poussière, il est nécessaire de choisir une pompe à vide avec une structure anti - retour pour empêcher les contaminants d'entrer à l'intérieur du corps de pompe pour provoquer une usure et prolonger la durée de vie de l'équipement.
Industrie de l'emballage alimentaire, le choix de la pompe à vide doit se concentrer sur la « sécurité sanitaire et l'efficacité de l'extraction». Le noyau de l'emballage sous vide est l'extraction de l'air à l'intérieur de l'emballage et l'inhibition de la reproduction microbienne, de sorte que la pompe à vide doit avoir un taux d'extraction stable pour assurer l'achèvement du processus d'extraction de l'emballage à sac unique en 3 - 5 secondes, adapté aux besoins de production à grande vitesse de la chaîne de montage. Dans le même temps, l'industrie alimentaire a des exigences strictes en matière d'hygiène, si la pompe à vide à huile est utilisée, elle doit être équipée d'un séparateur d'huile et de gaz à haute efficacité pour empêcher le brouillard d'huile de contaminer les aliments; Le meilleur choix est la pompe à vide alternative sans huile ou la pompe à vide à griffes, dont la structure est simple, facile à nettoyer, peut éviter le risque de pollution par les hydrocarbures et peut s'adapter à l'environnement humide et poussiéreux de l'atelier de transformation des aliments, conformément aux spécifications de production de sécurité alimentaire.
Outre les besoins spécifiques de l'industrie mentionnés ci - dessus, le facteur de processus commun ne peut pas être négligé. La consommation d'énergie et les coûts d'exploitation et d'entretien doivent être pris en compte, par exemple, les pompes à vide sèches de l'industrie des semi - conducteurs ont un investissement initial élevé, mais il n'est pas nécessaire de remplacer l'huile de pompe à vide en fonctionnement, les coûts d'exploitation et d'entretien à long terme sont inférieurs; La compatibilité du système de vide est également importante, la pompe à vide doit pouvoir s'interfacer de manière transparente avec l'équipement de traitement, prendre en charge la surveillance à distance et l'alerte précoce des pannes, réduire les temps d'arrêt non planifiés. En outre, pour les scénarios contenant des médias inflammables et explosifs (tels que la vapeur organique dans certains processus de revêtement), la pompe à vide doit avoir une conception antidéflagrante, répondre aux exigences de classe antidéflagrante correspondante et garantir la sécurité de la production.
L'essence du choix de la pompe à vide est « l'adéquation précise des exigences du processus aux performances de l'équipement». Des exigences de l'industrie des semi - conducteurs en matière de résistance à la corrosion et d'absence d'huile au contrôle de la stabilité sous vide des revêtements sous vide, en passant par l'équilibre entre l'hygiène et l'efficacité des emballages alimentaires, chaque facteur de processus a un impact direct sur la qualité et l'efficacité de la production. En analysant en profondeur les caractéristiques des processus industriels et en mettant l'accent sur les considérations de base, la sélection des pompes à vide peut à la fois tirer pleinement parti des performances de l'équipement et réduire les coûts de production et les risques de sécurité, afin de fournir une garantie de vide fiable pour la production de haute qualité dans divers secteurs.