Le microspectromètre d'épaisseur de film est un instrument de mesure optique de haute précision principalement utilisé pour mesurer l'épaisseur des films minces, des plaquettes, des matériaux optiques et des films multicouches de manière non destructive et sans contact, ainsi que pour analyser leurs constantes optiques (telles que l'indice de réfraction, le coefficient d'extinction). Principe d'interférence et de séparation basé sur la lumière. Lorsque la lumière frappe la surface du film, elle se réfléchit plusieurs fois entre les surfaces avant et arrière du film, formant des franges d'interférence. En décomposant ces franges d'interférence en spectres de différentes longueurs d'onde par des techniques de spectroscopie et en mesurant leur distribution d'intensité, l'algorithme de corrélation de réutilisation calcule les paramètres tels que l'épaisseur, l'indice de réfraction, etc. du film mince.
Le microspectromètre d'épaisseur de film mesure la réflectivité absolue dans de minuscules zones par microspectropie. Lorsque la lumière frappe la surface du film, des phénomènes de réflexion et de transmission se produisent et la lumière réfléchit plusieurs fois sur les surfaces avant et arrière du film pour former des franges d'interférence. La technique de spectroscopie décompose ces franges d'interférence en spectres de différentes longueurs d'onde et mesure leur distribution d'intensité, ce qui permet de calculer des paramètres tels que l'épaisseur du film, l'indice de réfraction (n) et le coefficient d'extinction (k).
caractéristique
Mesure de haute précision: des algorithmes de précision sont utilisés pour réaliser des mesures d'épaisseur de membrane à l'échelle subnanométrique, garantissant la précision et la fiabilité des résultats. Répondre aux besoins de mesure de films d'épaisseur différente.
Mesure sans contact: aucun contact direct avec l'échantillon n'est nécessaire pendant la mesure, évitez les dommages causés à l'échantillon par des forces extérieures et protégez l'intégrité de l'échantillon. Convient pour la mesure de matériaux en couches minces nobles ou fragiles (par exemple, plaquettes semi - conductrices, revêtements optiques).
Mesure rapide avec affichage en temps réel: le temps de mesure est aussi court que 1 seconde / point, prend en charge la numérisation automatisée à grande vitesse et améliore l'efficacité de la détection. Affichage des données d'épaisseur de film en temps réel pour une analyse rapide.
Large gamme de longueurs d'onde avec analyse multicouche: le système optique couvre la bande ultraviolette à proche infrarouge (par exemple 230 - 1600 nm) et s'adapte aux propriétés spectrales de différents matériaux. Prend en charge la résolution de structure de film multicouche, peut mesurer simultanément l'épaisseur et la constante optique du film multicouche.
Conception conviviale: avec un assistant logiciel facile à analyser, l'analyse des constantes optiques peut être effectuée rapidement, même pour les utilisateurs débutants. La tête de mesure indépendante prend en charge les besoins personnalisés et s'adapte aux scénarios de surveillance en ligne de différentes lignes de production.