L'Université de technologie électronique a acheté plusieurs équipements plasma, y compris le nettoyeur plasma Pluto - t, le dégraisseur plasma Pluto - MD, etc., avec de bons commentaires des utilisateurs.

Les principales applications concernées sont: l'élimination de la colle de lithographie circulaire, l'élimination de la matière organique de surface des échantillons de semi - conducteurs électroniques, le traitement de surface des absorbeurs à large bande multifonctionnels micro et nanostructurés, etc.