Préparation avant l'opération (5 minutes à faire, la sécurité d'abord)

Contrôles de sécurité:

Confirmez que l'instrument est bien mis à la Terre (évitez les fuites d'électricité) et que la tension d'alimentation est conforme aux exigences nominales (par exemple AC220V ± 10%);

Vérifiez que la ligne de gaz (par exemple, argon, oxygène, azote) est bien connectée et qu'il n'y a pas de fuite (peut être détectée par le joint d'application d'eau savonneuse, pas de bulles d'air est normal);

Ouvrez les armoires de ventilation (si vous manipulez des échantillons volatils) ou les dispositifs d'échappement pour éviter de polluer l'environnement avec de petites quantités de gaz provenant de la réaction du plasma.

Préparation des échantillons:

Nettoyer à l'avance (laisser sécher après essuyage avec de l'éthanol anhydre) Les grosses impuretés (p. ex. poussière, huile) de la surface de l'échantillon à laver (p. ex. puces, verre, pièces en plastique, pièces métalliques) afin d'éviter que les impuretés n'affectent l'efficacité du nettoyage;

Fixez l'échantillon sur le porte - échantillon en vous assurant que la surface de l'échantillon n'est pas obstruée (le plasma doit être recouvert uniformément) et que le porte - échantillon est placé au centre de la cavité réactionnelle (en évitant d'être à proximité des électrodes).

Consommables et environnement confirmation:

Vérifiez la pression du cylindre de gaz (généralement besoin de maintenir 0,2 - 0,5 MPa), assurez - vous que le gaz est suffisant;

Vérifiez que le joint de porte de la Chambre de réaction est propre et non cassé (effet d'étanchéité sous vide garanti) et que l'environnement expérimental est exempt de vibrations ou de poussières intenses (évitez d'affecter le fonctionnement de l'instrument).

II. Étapes de fonctionnement de base (Réglage intelligent, aucune intervention manuelle requise)

Démarrage de l'instrument et aspiration sous vide:

Allumez l'alimentation totale de l'instrument, démarrez le système de contrôle (certains modèles fonctionnent à l'écran tactile), sélectionnez "mode manuel" ou "mode automatique" (mode automatique recommandé pour les débutants, paramètres de nettoyage courants intégrés);

Fermez la porte de la Chambre de réaction, appuyez sur le bouton "ASPIRATEUR", l'instrument démarre automatiquement la pompe à vide, pompe la pression à l'intérieur de la Chambre de réaction à un niveau de vide défini (généralement 10 - 100pa, ajustement du type d'éprouvette), l'instrument vous invite automatiquement lorsque l'extraction est terminée (voyant lumineux ou BIP).

Entrée de gaz et réglage des paramètres:

Choisissez le type de gaz de nettoyage (par exemple, l'oxygène pour le nettoyage des huiles d'huile, l'argon pour l'activation de surface, l'argon + oxygène pour le nettoyage composite), réglez le débit de gaz (généralement 10 - 50 SCCM, le débit est trop grand pour briser le vide, trop petit pour La concentration de plasma insuffisante);

Définir les paramètres de nettoyage:

Puissance (50 - 300W, échantillon dur sélectionné haute puissance, échantillon doux / thermique sélectionné faible puissance);

Le temps de lavage (30 secondes - 10 minutes, la pollution légère sélectionne une courte période, le nettoyage profond sélectionne une longue période);

Certains modèles prennent en charge les « paramètres de segmentation» (tels que le prétraitement à faible puissance en premier, le nettoyage à haute puissance en deuxième), qui peuvent être réglés à la demande.

Démarrage du nettoyage plasma:

Après la confirmation des paramètres sans erreur, appuyez sur le bouton "démarrer le nettoyage", l'instrument exécute automatiquement le processus: d'abord maintenir le débit de gaz et le degré de vide stable, puis démarrer l'alimentation RF pour produire le plasma (une faible lueur apparaîtra dans la Chambre de réaction, appartient au phénomène normal);

Pendant le processus de nettoyage, l'écran affiche le degré de vide, le débit de gaz, la puissance, le temps restant et d'autres paramètres en temps réel, aucun ajustement manuel n'est nécessaire, s'il y a une anomalie (par exemple, le degré de vide n'est pas conforme, la fuite de gaz), l'instrument alarmera automatiquement et s'arrêtera.

Iii. Fin après l'opération (3 minutes pour terminer, instrument de protection + échantillon)

Arrêt du lavage et décompression:

Après la fin du temps de nettoyage, l'instrument ferme automatiquement l'alimentation RF et la vanne de gaz, entrant dans le processus de « décompression» (passage d'une petite quantité de gaz inerte, tel que l'azote, à l'intérieur de la Chambre de réaction, équilibrant la pression interne et externe);

Une fois la décompression terminée (la pression à l'intérieur de la Chambre de réaction est revenue à la pression atmosphérique), l'instrument indique que « l'opération est terminée», à quel moment la porte de la Chambre de réaction peut être ouverte.

Prélèvement des échantillons et examen:

Porter des gants pour retirer l'échantillon et observer l'état de la surface de l'échantillon (par exemple, s'il est sec, s'il n'y a pas de résidu, si la tension de surface augmente, l'effet de lavage peut être vérifié par le test de l'angle de contact de la goutte d'eau);

Pour le traitement continu de plusieurs échantillons, l'étape « préparation de l'échantillon → aspiration → nettoyage» peut être répétée sans éteindre l'alimentation totale de l'instrument.

Arrêt et maintenance des instruments:

Une fois que tout le traitement de l'échantillon est terminé, fermez la valve du cylindre de gaz, appuyez sur le bouton "arrêt de la pompe à vide", après l'arrêt complet de la pompe à vide (évitez le retour d'huile de la pompe à vide), éteignez l'alimentation totale de l'instrument;

Essuyez le joint de porte de la Chambre de réaction et le porte - échantillon avec un chiffon propre, nettoyez une petite quantité de poussière (le cas échéant) à l'intérieur de la Chambre de réaction, gardez l'instrument propre et prolongez sa durée de vie.

Le processus de fonctionnement de la machine de nettoyage à plasma est standardisé, intelligent et le processus complet est dominé par « opération à bouton - poussoir + réglage des paramètres», aucun réglage mécanique complexe ou connaissance chimique n'est nécessaire, les débutants peuvent maîtriser les opérations de base en 10 minutes. Sa « complexité» se traduit principalement par la « sélection des paramètres» (par exemple, différents échantillons correspondent à différents gaz, puissance, temps) plutôt que par l'étape de fonctionnement elle - même - un nettoyage efficace peut être réalisé en sélectionnant les paramètres appropriés en fonction du matériau de l'échantillon (dur / doux, résistance à la température) et du but du nettoyage (déshuilage, activation, gravure).