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Shanghai Peiyuan Instrument Equipment Co., Ltd
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Brève introduction
Pluto - 30 est un système à plasma entièrement fonctionnel spécialement conçu pour la recherche et le développement, avec un générateur RF de 13,56 MHz et une alimentation réseau auto - adaptée produisant un plasma homogène dans toute la zone du processus. La cavité à vide du pluto30 peut prendre en charge jusqu'à 7 porte - échantillons réglables pour contenir des échantillons de toutes tailles. Pluto30 dispose d'une variété de réglages d'électrodes qui peuvent être configurés en modes rie et PECVD, élargissant ainsi la gamme d'applications du système et offrant une grande flexibilité à l'utilisateur.