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Shanghai Peiyuan Instrument Equipment Co., Ltd
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Brève introduction
Le processus de gommage est un processus important dans le processus de micro - usinage, après l'exposition au faisceau d'électrons, l'exposition ultraviolette et d'autres processus de micro - Nano - usinage, le photocollage doit être éliminé ou le traitement du film de substrat. La question de savoir si la colle de lithographie est enlevée propre à l'échantillon s'il y a des dommages, etc., affectera directement la finition en douceur du processus ultérieur. Les petites machines de déglaçage Pluto - MD utilisent des composants et des logiciels performants qui permettent un contrôle précis des paramètres du processus. Son logiciel de surveillance des processus et d'acquisition de données permet un contrôle de qualité rigoureux. Cette technologie a été appliquée avec succès aux transistors de puissance, aux dispositifs de simulation, aux capteurs, aux optiques, à l'optoélectronique, EMS/MOEMS、 Domaine des dispositifs biologiques, LED, etc.