En tant qu'équipement clé dans la fabrication de semi - conducteurs, l'encapsulation microélectronique et la manipulation de matériaux de précision, la stabilité et la répétabilité du processus sont directement liées à la rentabilité et au coût du produit. La mise en œuvre d'un système de conservation scientifique et rigoureux est essentielle pour garantir un fonctionnement optimal de l'équipement à long terme, prolonger sa durée de vie et garantir la stabilité et la fiabilité des résultats du processus. Ce qui suit détaille le mode de conservation de la machine de déglaçage plasma sous vide à partir de quatre aspects: quotidien, périodique, composants clés et désactivation à long terme.

I. entretien quotidien des fondations: protection contre les maladies

L'entretien quotidien est la première ligne de défense pour maintenir la stabilité de l'équipement et est principalement effectué par les opérateurs de l'équipement dans les espaces de production.

1. Nettoyage et inspection visuelle:

Extérieur de l'appareil: avant et après l'utilisation quotidienne, essuyez la surface extérieure de l'appareil, la fenêtre d'observation et le panneau de commande avec un chiffon sans poussière trempé dans une petite quantité d'alcool isopropylique (IPA) ou d'eau désionisée pour enlever la poussière et les taches et les garder propres. Vérifiez également si le boîtier de l'appareil a des dommages visibles, si le dispositif de verrouillage est normal.

Bague d'étanchéité de porte de chambre de processus: Avant chaque ouverture de la porte de la Chambre, vérifiez et nettoyez la bague d'étanchéité en caoutchouc fluoré ou en caoutchouc de silicone sur la porte de la chambre. Tremper l'IPA dans un chiffon sans poussière et Essuyer délicatement pour éliminer les particules minuscules, en veillant à ce qu'il n'y ait pas de résidus, de bris ou de déformation. Une bonne étanchéité est la base pour maintenir un vide élevé.

2. Surveillance de l'état de fonctionnement:

Système de vide: enregistrez le temps de vide pour chaque processus. S'il est constaté que le temps d'aspiration est significativement plus long, cela peut signifier qu'il y a une fuite de vide ou que les performances de la pompe mécanique diminuent et doivent être signalées à temps.

Paramètres de processus: portez une attention particulière à la stabilité des paramètres clés tels que la réflexion de puissance de radiofréquence (RF), le débit de gaz, la pression de la Chambre, etc. pendant le processus. Les fluctuations anormales sont souvent un précurseur du vieillissement des composants.

Système de refroidissement: vérifiez le manomètre et le débitmètre du système de circulation d'eau de refroidissement, assurez - vous que les valeurs sont dans la plage normale et touchez pour confirmer qu'il n'y a pas de réchauffement anormal de la conduite d'eau, garantissant une dissipation efficace de la chaleur de la source RF et de la chambre.

II. Maintenance préventive périodique: bilan de santé systématique

La maintenance périodique doit être effectuée par un ingénieur de maintenance professionnel en fonction du temps de fonctionnement de l'équipement et du cycle recommandé par l'usine (généralement trimestriel ou annuel).

1. Nettoyage en profondeur de la Chambre de processus:

Fréquence: toutes les 200 à 400 heures de fonctionnement ou lorsque les résultats du processus (p. ex. taux de dégraissage, homogénéité) diminuent.

Méthode: démonter les pièces mobiles à l'intérieur de la Chambre, telles que les plaques d'électrodes, les tables de chargement, les écrans de blindage, etc. Utilisez une pâte Abrasive spécialisée, du papier abrasif ou un nettoyage au plasma lui - même pour éliminer les résidus de polymère et les sous - produits de réaction fixés à la surface. Pour les taches tenaces, on peut utiliser une immersion chimique (par exemple avec un nettoyant spécial comme la n - méthylpyrrolidone, attention à la sécurité), puis rincer à l'eau désionisée et sécher. Principe de base: Évitez les rayures avec des objets durs et évitez les rayures sur les parois internes de la chambre et sur les électrodes qui peuvent devenir une source de pollution particulaire et affecter l'uniformité du plasma.

2. Maintenance du système de vide:

Pompes mécaniques:

Inspection et remplacement de l'huile de pompe: vérifiez la couleur et le niveau d'huile de la pompe mécanique tous les mois. Une couleur ambrée claire est normale et doit être remplacée immédiatement si elle devient brun foncé ou laiteuse, indiquant que l'huile a été contaminée ou a pénétré dans l'eau. En fonction de la fréquence d'utilisation, l'huile de pompe et le filtre à huile sont généralement remplacés toutes les 500 à 1 000 heures de fonctionnement ou tous les six mois.

Remplacement du filtre d'échappement: changez régulièrement le filtre d'échappement de votre pompe mécanique pour éviter la pollution de l'environnement ou des lignes de vide par la rétrodiffusion du pétrole et du gaz et des particules.

Régulation du vide: calibrer régulièrement la jauge de film capacitif (CMG), etc., pour assurer une lecture précise de la pression.

Détection de fuite: utilisez un détecteur de fuite par spectrométrie de masse à hélium pour effectuer une détection périodique de fuite de l'ensemble du système sous vide, assurant ainsi l'étanchéité du système à l'air.

3. Entretien du système de voie de gaz:

Filtre à gaz: remplacez la cartouche du filtre à particules à l'entrée de la source de gaz et devant l'électrovanne haute fréquence pour empêcher les impuretés de pénétrer dans la chambre et la vanne, généralement semestriellement ou annuellement.

Contrôleur de Débit massique (MFC): le MFC est un composant essentiel pour contrôler le débit précis des gaz de process. Un passage régulier dans le gaz standard est nécessaire pour l'étalonnage, assurant sa précision. S'il n'est pas utilisé pendant une longue période, il doit être maintenu avec une purge d'azote à l'intérieur pour éviter le blocage.

4. Inspection du système de radiofréquence (RF):

Maintenance de l'adaptateur: les électrodes de capacité variable à l'intérieur de l'adaptateur sont vérifiées pour les marques de feu ou de contamination et nettoyées. Assurez - vous que son moteur fonctionne correctement pour permettre une adaptation d'impédance rapide et précise.

Câbles RF et connecteurs: vérifiez si les câbles RF et les têtes de connexion présentent des signes de relâchement, de vieillissement ou de dommages, assurez - vous que la connexion est fiable et évitez que la réflexion d'énergie endommage le générateur RF.

Iii. Entretien et remplacement spéciaux des composants clés

Certains composants appartiennent aux consommables et leur état détermine directement la qualité du processus, nécessitant une surveillance ciblée et un remplacement rapide.

1. Bague d'étanchéité sous vide: sous haute température, irradiation plasma et pression mécanique à long terme, la bague d'étanchéité vieillira et perdra son élasticité. Il est recommandé de remplacer systématiquement toutes les bagues d'étanchéité principales (portes de cavité, fenêtres d'observation, entrées d'électrodes, etc.) tous les 1 à 2 ans ou lorsque le vide s'avère impossible à maintenir.

2. Fenêtre d'observation: la fenêtre d'observation de quartz ou d'alumine deviendra progressivement floue sous le bombardement de plasma, affectant la précision du système de détection d'extrémité. Lorsque la transmission de la lumière diminue de manière significative, elle doit être polie ou remplacée.

3. Pompe à huile avec filtre: Suivez strictement le cycle de remplacement, qui est le « sang» et le « rein» pour le fonctionnement sain du système de vide.

Iv. Conservation pendant la désactivation à long terme

Si l'équipement doit rester inactif pendant plus d'un mois, il doit être mis sous scellé.

1. Protection de la Chambre: après avoir nettoyé et séché la Chambre de processus, remplissez d'azote sec de haute pureté à un peu plus que la pression atmosphérique et fermez toutes les vannes pour empêcher l'air et l'humidité d'entrer.

2. Protection du système de vide: Fermez la pompe mécanique, vidangez l'huile de la pompe et injectez de l'huile fraîche après le rinçage avec de l'huile fraîche. Alternativement, démarrez régulièrement (par exemple toutes les deux semaines) La pompe mécanique pendant une demi - heure pour la garder lubrifiée et scellée.

3. Mise hors tension et protection contre la poussière: débranchez l'alimentation principale (à l'exception des sous - systèmes pris en charge si nécessaire) et couvrez l'appareil avec un capot anti - poussière.