La machine de dégraissage plasma sous vide est largement utilisée dans l'emballage de semi - conducteurs, la fabrication microélectronique et d'autres domaines, et sa défaillance affecte directement l'efficacité de la production et la qualité du produit. Voici les solutions de défaillance courantes basées sur les principes de l'équipement et un résumé de l'expérience pratique:

I. défaillance du système de vide

- niveau de vide insuffisant ou incapacité à aspirer

- vieillissement des joints: vérifiez que les joints de porte de la cavité, les joints toriques à l'interface du tuyau ne sont pas usés, Remplacez les joints déformés ou fissurés à temps.

- anomalies de la pompe à vide: Observez le bruit et le niveau d'huile de fonctionnement du Groupe de pompe, si l'émulsion mécanique de l'huile de pompe ou la pompe moléculaire est mal notée, vous devez remplacer l'huile de lubrification ou réparer le Groupe de pompe.

- fuite de gaz: utilisez un détecteur de fuite par spectrométrie de masse à hélium pour détecter les lignes de gaz, en se concentrant sur l'extraction des soupapes de décompression, les raccordements des débitmètres, la fixation des raccords desserrés ou le remplacement des lignes brisées.

- alarme de vide déclenchée par erreur

- dérive d'étalonnage du capteur de pression: les valeurs sont régulièrement affichées par rapport à l'appareil avec un vacuomètre standard, le capteur doit être recalibré lorsque l'erreur dépasse ± 5%.

II. Défaillance du système de radiofréquence (RF)

- le plasma ne peut pas être généré

- dommages à l'alimentation RF: mesurez le signal de sortie de la source RF et retournez à l'usine pour réparation s'il n'y a pas de sortie de puissance; Si le test de fausse charge est normal, vérifiez que le câble RF est cassé ou que le connecteur est oxydé.

- défaillance de l'adaptateur: Ajustez les paramètres capacitifs / inductifs de l'adaptateur automatique, en cas de blocage du moteur ou d'usure des engrenages, vous devez démonter la boîte d'adaptation pour nettoyer le stockage de carbone et remplacer les pièces endommagées.

- faible densité de plasma ou instable

- contamination des électrodes: démontez les plaques d'électrodes supérieures et inférieures, essuyez les colloïdes résiduels de surface avec de l'éthanol anhydre, évitez l'accumulation de matière organique entraînant une décharge inégale.

- pureté insuffisante du gaz: détectez l'argon, la pression du cylindre d'oxygène, remplacez la source de gaz lorsque la pureté du gaz est inférieure à 99,99%, tout en nettoyant les impuretés à l'intérieur du Contrôleur de Débit massique.

Iii. Effet anormal du processus

- l'inefficacité du dégraissage

- mauvais réglage des paramètres: en fonction de l'épaisseur de la couche de colle pour ajuster la puissance (généralement 60 ~ 120W) et le temps (30 ~ 120 secondes), par exemple, la colle de lithographie épaisse doit augmenter la proportion d'oxygène à 80% pour améliorer la vitesse de réaction chimique.

- contamination de la cavité: nettoyez régulièrement la table de charge par ultrasons à l'alcool isopropylique pour éliminer les particules de colle résiduelle écaillées et empêcher les dépôts secondaires d'affecter l'effet du traitement.

- dommages à la surface du matériau

- Gravure excessive: réduction de la puissance RF en dessous du seuil ou réduction du temps de traitement; L'utilisation d'un mode pulsé (Rapport cyclique ≤ 70%) pour les dispositifs sensibles réduit l'accumulation de chaleur.

Iv. Défaillance du matériel et du système de contrôle

- l'appareil ne démarre pas

- interrupteur d'arrêt d'urgence non réinitialisé: vérifiez que le bouton d'arrêt d'urgence rouge du panneau de commande n'est pas éjecté et redémarrez l'alimentation après le déverrouillage par rotation dans le sens horaire.

- défaillance du relais: mesurer la tension de sortie du circuit de commande, si le contact du relais est collé, vous devez remplacer les éléments du même modèle.

- perte de contrôle du débit de gaz

- blocage de l'électrovanne: démontage du filtre à gaz, purge inverse de la cartouche avec de l'azote haute pression, remplacement direct de la nouvelle cartouche en cas de blocage important.

La résolution des défauts de la machine de déglaçage plasma sous vide nécessite une combinaison de technologie sous vide, d'ingénierie RF et d'expérience des processus. La mise en place d'un mécanisme de « maintenance préventive + diagnostic rapide» peut améliorer considérablement le taux de mouvement de l'équipement.